等離子體生產制造水平與傳統生產制造水平較之有哪幾個優勢，等離子體的功效環節是氣固相干化學反應，不消耗水和化學藥劑，綠色環保。氣體干燥生產全過程不需要降解劑和水，基本不會產生環境問題，節約能源，節約成本，節約能源。
伴隨著工業和消費電子市場的發展，電子設備越來越輕、體積越來越小，這種市場需求在推動著微電子封裝小型化的同時，也對封裝的可靠性提出了更高的要求，高質量的封裝水平能延長其使用時長。在封裝過程中，晶片的粘接間隙、低粘接強度、焊球分層或脫落成為制約封裝可靠性的重要因素，必須有效去除各種污垢，而不損害其表面特性和電氣性能。
目前廣泛采用的等離子體清洗方法主要有濕法和干法。考慮到環境因素、原材料消耗及未來發展趨勢，濕法清洗有較大的局限性，干法清洗明（顯）優于濕法清洗。在這些方面，等離子體清洗發展迅速，優勢顯著。
等離子體是一種電離氣體，如電子、離子、原子、分子或自由基的集合。高能電子在清洗過程中，會使氣體分子發生高能電子碰撞，使其離解或電離，利用產生的多種微粒轟擊被清潔表層或與被清潔表層發生化學反應，有效地去除各種污染物；同時還能加快材料本身的表層性能，如加快表層的潤濕性、加快其粘附性等，在許多應用中都有重要意義。機器設備的表層經等離子清洗后，無需在進行干燥生產，因此可以加快整體工藝生產流水線的生產效率；可使設備員不用受到有害溶劑的傷害；等離子體深入到物體內部的微孔和凹陷處清洗，因而不會過分考慮被清洗物體的形狀；也能生產各種材料，特別適合不耐高溫、不耐溶劑的材料。24552