等離子體是由正離子、負離子、自由電子等帶電粒子和不通電的中性粒子組成的電離汽體，如激發態分子及其氧自由基。由于其正負電荷一直相同，被稱為等離子體，是成分常見的固態、液體和汽體以外的第四態。
一些不聚合的無機汽體(Ar2.N2.H2、02等。)在高頻低電壓下被刺激，產生許多活性粒子，如離子、刺激態和氧自由基。通常在等離子體清潔機中，活化汽體可以劃分為兩大類：一種是稀有氣體的等離子體(如Ar2、N2等)；另一種是反應性氣體的等離子體(如02、H2等)。
原子團等氧自由基與物體表面的反應：氧自由基是電中性的，主要表現在化學反應過程中能量傳遞的激活作用上。通過與物體表面的分子發生化學反應，不斷產生新的氧自由基，釋放出大量的結合能，成為引起新表面反應的驅動力，從而導致物體表面的成分發生化學反應并被去除；電子與物體表面的作用：電子對物體表面的沖擊可以促進吸咐在物體表面的氣體分子的分解或解吸，攜帶負電荷有利于引起化學反應。離子與物體表面的作用：帶正電荷的陽離子有加速沖向帶負電荷表面的傾向，使物體表面獲得相當大的動能，足以沖擊去除附著在表面的顆粒物。24536