高活性氧離子可與斷裂的分子鏈發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，電暈駐極處理架子形成活性基團(tuán)的親水性外觀，達(dá)到外觀活化的意圖；鍵斷裂后，有機(jī)污染物的元素會(huì)與高活性氧離子發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，形成CO、CO2、H2O等分子結(jié)構(gòu)，脫離表象，達(dá)到清洗表象的意圖。氧氣主要用于聚合物表面活化和有機(jī)污染物去除，不用于易氧化金屬表面。真空電暈狀態(tài)下的氧電暈為淺藍(lán)色，而局部放電條件下類似白色。放電環(huán)境光線比較明亮，肉眼觀察可能看不到真空室內(nèi)的放電。
降解揮發(fā)性為傳統(tǒng)的有機(jī)污染物（VOCs）處理方法，電暈駐極處理架子如吸收、吸附、冷凝、燃燒等，在氣態(tài)污染物處理方面具有明顯優(yōu)勢(shì)。其基本原理是在電場(chǎng)的加速作用下產(chǎn)生高能電子。當(dāng)電子的平均能量超過目標(biāo)分子的化學(xué)鍵能時(shí)，分子鍵斷裂，達(dá)到消除氣態(tài)污染物的意圖。在常規(guī)意義上，電暈形狀是中性氣體中相當(dāng)數(shù)量的電離。當(dāng)氣體的溫度上升到其粒子的熱動(dòng)能可以與氣體的電離能相比時(shí)，粒子之間碰撞后可以發(fā)生許多電離過程。
低溫電暈中富含化學(xué)活性高的粒子，電暈駐極處理架子如電子、離子、自由基和激發(fā)分子等。廢氣中的污染物與這些能量較高的活性基團(tuán)反應(yīng)，最終轉(zhuǎn)化為CO2和H2O，進(jìn)而達(dá)到凈化廢氣的意圖。10.適用范圍廣，凈化力高，特別適用于其他方法難以處理的多組分惡臭氣體，如化工、醫(yī)藥等行業(yè)。此外，低溫電暈廢氣處理設(shè)備占地面積也較?。浑娮幽芰扛?，能與所有惡臭氣體分子一起工作；運(yùn)營(yíng)成本低；快速響應(yīng)，非?？斓赝Ｖ梗S用隨開。
這些問題都會(huì)對(duì)盒貼工藝產(chǎn)生一定的影響，電暈駐極處理架子特別是模切盒邊緣粗糙時(shí)，容易產(chǎn)生紙屑，會(huì)被靜電粘附在盒壽命上，降低盒貼膠的開孔強(qiáng)度，甚至導(dǎo)致裂紋，從而影響盒的最終成型效果。電暈對(duì)膏盒部分進(jìn)行處理，去除有機(jī)污染物，清洗粘接材料表面后，粘接材料表面發(fā)生許多物理化學(xué)變化，如刻蝕、粗糙，形成致密的交聯(lián)層，或引入含氧極性基團(tuán)，使親水性、附著力、可染性、生物相容性和電性能分別得到提高。
電暈駐極處理裝置安裝示意圖
ICP刻蝕輝光放電產(chǎn)生的活性所產(chǎn)生的活性粒子擴(kuò)散到襯底表面，發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，會(huì)產(chǎn)生一些不揮發(fā)的產(chǎn)物，來(lái)不及在襯底表面解吸沉積。此外，一些離子對(duì)襯底產(chǎn)生物理轟擊撞擊破壞表面晶格陣列，導(dǎo)致基材表面出現(xiàn)孔洞和坑洞，造成材料表面質(zhì)量的下降。同時(shí)，由于硅和碳化硅的存在，使得原襯底表面的結(jié)構(gòu)不均勻。
極耳整平后，利用電暈處理設(shè)備進(jìn)行沖洗，去除物體和顆粒，提高后續(xù)激光焊接的可靠性。汽車上使用的動(dòng)力鋰電池分為正負(fù)極，是由電芯引出的金屬片。一般來(lái)說(shuō)，電池的正負(fù)極是充放電時(shí)的接觸點(diǎn)。接觸面的清潔與否會(huì)影響電氣連接的可靠性和耐久性。在鋰電池電芯生產(chǎn)過程中，電極耳經(jīng)常出現(xiàn)凹凸不平、彎曲扭曲等現(xiàn)象，造成假焊、假焊、短焊等現(xiàn)象。
用于清潔氣體和電暈設(shè)備的污染物也應(yīng)該有不同的選擇。當(dāng)一個(gè)蒸汽滲透一個(gè)或多個(gè)額外的蒸汽時(shí)，這些元素的混合物將產(chǎn)生所需的腐蝕和清潔效果。利用電暈設(shè)備中的離子或高活性原子，使表面污染物碰撞或形成揮發(fā)性蒸汽，通過真空系統(tǒng)帶走，凈化表面。空氣中的氧氣，如甲烷，在高頻電磁場(chǎng)中。在電弧放電條件下，水蒸氣等蒸氣分子在快速電磁場(chǎng)中可以在低壓下精制氧氣。
這種氧化膜不僅阻礙了半導(dǎo)體制造的許多步驟，而且含有一些金屬雜質(zhì)，在一定條件下會(huì)轉(zhuǎn)移到晶圓上形成電缺陷。這種氧化膜的去除常通過在稀氫氟酸中浸泡來(lái)完成。電暈在半導(dǎo)體晶圓清洗工藝中的應(yīng)用電暈清洗具有工藝簡(jiǎn)單、操作方便、無(wú)廢物處理和環(huán)境污染等優(yōu)點(diǎn)。但不能去除碳和其他非揮發(fā)性金屬或金屬氧化物雜質(zhì)。光刻膠的去除過程中常采用電暈清洗。
電暈駐極處理架子
