等離子體與材料表面的化學反應主要是利用等離子體中的自由基與材料表面發生反應。化學反應中常用的氣體有氧氣、氫氣、CH4等。這種氣體會發生化學反應。等離子體產生高活性自由基自由基的作用主要是化學反應過程中能量轉移的“活化”。處于激發態的自由基與表面結合時變得更有活力，如何改善聚氨酯附著力產生新的自由基。對象的分子。

當以這種方式產生的電子被電場加速時，如何改善聚氨酯附著力它們獲得高能量并與周圍的分子或原子碰撞。結果，分子和原子中的電子被激發，它們本身變成激發態或離子態。此時，物質存在的狀態是等離子體狀態。在輝光放電的情況下，在高頻電場下處于低壓狀態的氧氣、氮氣、甲烷和水蒸氣等氣體分子被加速分解為原子和分子，產生電子和解離。這些點是帶正電和帶負電的原子和分子。當以這種方式產生的電子被電場加速時，它們獲得高能量并與周圍的分子或原子碰撞。

等離子體中的高能電子在等離子體技術分解氣態污染物中起著決定性作用。數萬度的高能電子與氣體分子(原子)非彈性碰撞，如何改善聚氨酯附著力能量被轉換為基分子(原子)的內能，發生激發、解離和電離等一系列過程，使氣體處于活性(化學)狀態。當電子能量較低(< 10eV)時，產生活性自由基，通過等離子體定向鏈式化學反應將被激活(化學化)的污染物分子去除。當電子的平均能量超過污染物化學鍵的結合能時，分子鍵斷裂，污染物分解。

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在等離子體化學反應過程中，等離子體轉移化學能過程中的能量轉移大致如下：（1）電場+電子→高能電子（2）高能電子+分子（或原子）→（受激原子、受激基團、游離基團）活性基團（3）活性基團+分子（原子）→產物+熱（4）活性基團+活性基團→產物+熱量從上述過程可以看出，電子首先從電場中獲得能量，并通過激發或電離將能量傳遞給分子或原子。得到能量的分子或原子被激發，一些分子同時被電離，從而成為活性基團。

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