周等人。利用介質阻擋放電實現CO2重整CH4。當注入能量為87kW時。H/(nm3)，電暈機輸出電壓是多少伏甲烷轉化率為64%，二氧化碳轉化率為54%。加侖等。和品豪等人。分別研究了CH4和CO2在DBD放電電暈作用下的重整反應。結果表明，重整反應的主要產物是合成氣，只生成少量烴類（主要是C2H6)。但是在DBD放電電暈作用下的CH4和CO2重整反應的反應物轉化率較低，能耗很高。李等人。

采用低溫電暈處理技術對GPJ太陽能蓋板氟涂層表面進行處理時，電暈機輸出功率6kw當處理功率達到4.0kW、時間達到3s以上時，表面性能達到高點后趨于穩定。。電暈設備用于光伏電池等場合，如離子體清洗、蝕刻、電暈電鍍、電暈鍍膜、電暈灰化、表面活化、改性等，對材料的處理可以提高材料的潤濕能力，增強附著力和附著力，同時去除有機物、油污或油脂。

電暈加工：電暈噴槍產生的高溫高速射流可用于焊接、堆焊、噴涂、切割、加熱切割等機械加工。電暈弧焊比鎢極氬弧焊快得多。1965年問世的微電暈弧焊接，電暈機輸出電壓是多少伏焊炬尺寸僅為2～3毫米，可用于加工非常精細的工件。電暈弧堆焊可在零件上堆焊耐磨、耐腐蝕、耐高溫合金，用于加工各種特殊閥門、鉆頭、刀具、模具、機軸等。

電暈表面活化/清洗；2.電暈處理后的粘接；3.電暈刻蝕/活化；4.電暈脫膠；5.電暈涂層（親水性、疏水性）；6.增強結合；7.電暈涂層；8.電暈灰化和表面改性。通過電暈的處理，電暈機輸出功率6kw可以提高材料表面的潤濕性，對各種材料進行涂層和電鍍，增強附著力和結合力，同時去除有機污染物、油污或油脂。

電暈機輸出功率6kw

化學反應中常用的氣體有氫氣(H2)、氧氣(O2)、甲烷(CF4)等，這些氣體在電暈中反應成高活性自由基，而當引入反應性氣體時，會在活化的數據表面產生復雜的化學反應，并引入新的官能團，如烴基、氨基、羧基等，這些官能團都是活性基團，可以明顯提高數據表面的活性。特別是某些工件工序需要物理和化學雙重作用，這個時間的頻率應為13.56MHz系列。

硅晶棒經過切割、軋制、切片、倒角、拋光、激光雕刻、封裝等工序，成為集成電路工廠的基礎原材料--硅片，被稱為“晶圓”。(C)晶圓的基本原料硅用石英砂精制，硅片用硅元素提純（99.999%）。然后，這些純硅被制成硅晶棒，成為制造集成電路石英半導體的材料。經過照相制版、研磨、拋光、切片等工序，多晶硅從單晶硅晶棒中熔化拉出，再切割成薄片。

低溫電暈可將氣體分子解離或分解為化學活性成分，與襯底固體表面反應生成揮發性物質，再由真空泵抽走。通常有四種材料必須蝕刻：硅（雜化硅或非雜化硅）、電介質（如SiO2或SiN)、金屬（通常是鋁和銅）和光刻膠。每種材料的化學性質不同。低溫電暈刻蝕是一種各向異性刻蝕工藝，可以保證刻蝕圖形的準確性、特定材料的選擇性和刻蝕效果的均勻性?；钚曰鶊F的電暈刻蝕和物理刻蝕同時發生。

電暈機輸出電壓是多少伏