其中，對玻璃又有一附著力的物質物理反應機制是活性粒子轟擊待清洗表面，使污染物脫離表面最終被真空泵吸走；化學反應機制是各種活性的粒子和污染物反應生成易揮發性的物質，再由真空泵吸走揮發性的物質，從而達到清洗目的。 我們的工作氣體，經常用到氫氣（H2）、氮氣（N2）、氧氣（O2）、氬氣（Ar）、甲烷（CF4）等。

等離子體狀態中存在下列物質：處于高速運動狀態的電子；處于激活狀態的中性原子、分子、原子團（自由基）；離子化的原子、分子；未反應的分子、原子等，對玻璃又有一附著力的物質但物質在總體上仍保持電中性狀態。

當電子在電場中加速時，附著力的評價標準是什么會獲得高能量，與周圍的分子或原子發生碰撞。因此，電子在分子和原子中被激發，它們處于被激發或離子狀態。此時，物質存在的狀態是等離子體狀態。輝光放電條件下，在高頻電場中處于低壓狀態的氧氣、氮氣、甲烷、水蒸氣等氣體分子可以分解加速的原子和分子，這樣產生的電子可以解離成帶正負電荷的原子和分子。當電子在電場中加速時，會獲得高能量，與周圍的分子或原子發生碰撞。

例如，對玻璃又有一附著力的物質如果把帶正電荷的球體放在等離子體中，它會吸引等離子體中的電子，排斥這些離子，從而在球體周圍形成帶負電荷的球體&ldquo；電子云&rdquo；.真空等離子體清洗機中的等離子體具有振蕩特性：一般等離子體處于平衡狀態時，其密度分布在宏觀上是均勻的，而在微觀上則是有升有降，且不均勻，密度波動具有振蕩特性。

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當氣體的溫度升高時，此氣體分子會分離成為原子，若溫度繼續上升，圍繞在原子核周圍的電子就會脫離原子成離子（正電荷）與電子（負電荷），此現象稱為“電離”。因電離現象而帶有電荷離子的氣體便稱為“等離子（PLASMA）”。因此通常將等離子歸類為自然界中的“固體”、“液體”、“氣體”等物態以外的“第四態”。

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