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另一方面，環氧富鋅涂料附著力當各種活性粒子與被清洗物表面接觸時，各種活性粒子與被清洗物表面的雜質發生化學反應，產生揮發性氣體等，將揮發性物質抽真空。 .例如，ROS 等離子體氧化材料表面的有機物質。反之，隨著各種活性顆粒與清洗劑表面碰撞，材料表面的雜質被真空泵的氣流吸收。等離子表面處理機本身不會引起化學反應，不會在被洗物表面留下氧化物，因此可以更好地保持被洗物的純度，保證材料的各向異性。 三極管的形狀就是三極管的形狀。

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4)電磁輻射區域內的高頻表面等離子體不同于激光束等直接照射。鑒于表面等離子體的導電性較弱，它可以穿透物體內部的微孔和凹陷來完成清洗任務，所以不需要過多考慮被清洗物體的形狀。而這些難清洗區域的清洗效果和氟利昂的清洗似乎比較好。表面等離子體表面處理機需要控制真空度pa，容易達到潔凈條件。

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一般把電子間碰撞達到熱力學平衡的溫度稱為Te，也就是電子溫度。而當等離子表面處理設備離子碰撞時，達到熱力學平衡的溫度是Ti，也就是離子溫度，實際上，Te和Ti通常是不同的。高氣壓條件接近大氣壓時放電，則電子、離子、中性粒子將因激烈碰撞而充分交換動能，使等離子體達到熱平衡狀態，電子溫度與離子溫度相近，屬低溫等離子體中的熱等離子體。

對于電容耦合高頻等離子體源，保持在平行電極之間的等離子體主要由高頻電場加熱。大多數電容耦合射頻等離子體反應堆是不磁化的，工作頻率在1和MHz之間。它們對電磁場的電荷響應低于電子等離子體反應器，即。

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