獨立式電暈設備又稱離線式、單體式、批量式電暈清洗設備，自動水浴電暈機的特點主要包括電暈產生系統、排氣系統、溫度控制系統、氣路控制系統、冷卻系統、電氣控制系統、真空產生系統和鈑金零件等。在線電暈設備又稱連續不間斷電暈清洗設備。在線電暈清洗設備是在獨立式的基礎上設計的，在滿足產品加工均勻性和一致性的同時，提高了自動化程度，減少了人工參與的需要。

2）系統控制單元：分為三種，電暈機的作用和用途按鈕控制（半自動、全自動）、電腦控制、PLC控制（液晶觸摸屏控制）。2.真空腔體：真空腔體主要分為兩種材料：1）不銹鋼真空室。2）石英腔。三。真空泵：真空泵分為兩種：1）干燥泵。2）油泵。大氣電暈的結構主要分為主機（射頻電源）和噴嘴兩大部件。噴嘴分為直接射流式和旋轉射流式常壓電暈因其獨特的噴嘴+主機形式，可根據用戶需求配置最優流水線生產方案，大大提高了生產效率。

簡單來說，自動水浴電暈機的特點自動清洗臺同時清洗多片晶圓，優點是設備成熟，生產率高，而單片晶圓清洗設備逐片清洗，優點是清洗精度高，可有效清洗背面、斜面和邊緣，避免晶圓間交叉污染。45nm之前，自動清潔臺可滿足清潔要求，目前仍在使用；而45以下的工藝節點則依賴于單片晶圓清洗設備來滿足清洗精度要求。在未來工藝節點減少的情況下，單片晶圓清洗設備是目前可預測技術下清洗設備的主流。

電暈一般有以下用途：1.電暈發生器可作為熱源；2.電暈發生器可用作化學催化劑；3.電暈發生器可作為高能離子流和電子流的源；4.電暈發生器可以作為濺射粒子源；在許多工藝中，自動水浴電暈機的特點電暈發生器的這些基本特性隨處可見，逐漸形成了以電暈為加工手段的基礎制造業。單一工藝或幾種工藝的組合可以賦予電暈不同的用途。

自動水浴電暈機的特點

對于一些有特殊用途的材料，電暈的輝光放電不僅加強了這些材料的附著力、相容性和潤濕性，還能對其進行消毒殺菌。電暈廣泛應用于光學、光電子、電子學、材料科學、生命科學、高分子科學、生物醫學、微觀流體等領域。

該區域發生放電后，離子軌跡消失，或沿某一方向遷移到其他區域，這些區域隨之帶電。當發光球內部有足夠的電流時，離子軌跡將一直存在。。電暈在現代工業中的主要用途電暈技術應用廣泛，可利用電暈產生的高溫高速射流，也可用于焊接、堆焊、噴涂、切割、加熱切割等機械加工；同時，還可以進行活性粒子和輻射，促進一些化學反應；再冶金也應用于·；；1.需要粘接前清洗以改變表面張力。

在表面處理中，許多半導體材料在加工過程中需要進行清洗和蝕刻，以保證產品質量。因此，在半導體行業中，電暈刻蝕機技術、半導體真空電暈清洗的應用越來越受到重視。電暈清洗是半導體封裝制造業常用的化學性質。這也是電暈清洗有一個比較突出的特點，可以促進晶粒和焊盤電導率的增加。焊料潤濕性，金屬絲點焊強度，塑殼涂層安全性。廣泛應用于半導體元件、電子光學系統、晶體材料等集成電路芯片。

要根據要求選擇合適的官能團，還需要選擇合適的技術將這些官能團引入到表面，對于現有的許多材料來說，電暈聚合以及電暈聚合與接枝的結合是一種非常有效和經濟的表面改性技術，在生物技術和工程領域得到了越來越多的關注和興趣。該技術的特點是可以通過選擇性地改變表面的官能團來改變表面性質，從而達到所需的表面性質。。

電暈機的作用和用途

在上述領域的生產過程中，電暈機的作用和用途會遇到弱結合等問題，只有電暈的進步才能實現。電暈具有工藝簡單、節能、節材、減少材料需求等特點。它通過電暈轟擊物體表面實現PBC去污。利用電暈蝕刻系統去除孔內的灰塵和腐蝕，以去除孔內絕緣，最終提高產品質量。。電暈處理技術制備的變性淀粉有何應用？變性淀粉一般是指通過物理、化學或酶法二次加工得到的淀粉。低溫電暈處理是一種新型的非熱加工技術，可用于食品加工。