非彈性碰撞導致激發（分子或原子中的電子從低能級躍遷到高能級）。能級）、解離（分子分解成原子）或電離（分子或原子從外部電子的鍵合狀態變為自由電子）。熱氣體通過傳導、對流和輻射將能量傳遞到周圍環境。在穩態下，硬板等離子體清洗機特定體積的輸入能量和損失能量相等。電子與重粒子（離子、分子、原子）之間的能量轉移率與碰撞頻率（每單位時間的碰撞次數）成正比。

階段是到達基質表面的碳。以基體表面缺陷、金剛石子晶等為中心的原子的成核和生長。因此，硬板等離子體清洗設備決定金剛石成核的因素有： 1. 基體數據：由于成核取決于基體表面碳飽和程度和到達核心的碳量，因此基體數據的臨界濃度以及碳分散因子對成核有顯著影響。 .色散因子越高，就越難達到成核所需的臨界濃度。有了這些數據，很難直接對鐵、鎳和鈦等金屬基體進行成核。另外，對于碳色散因子低的數據，金剛石可以快速成核，如鎢、硅等。

與組件的小面積接觸導致與熔合接觸，硬板等離子體清洗機這發生在材料之間并形成失效原因。此外，零件的高速運轉擴大了損壞的來源，導致附著的零件撕裂或剝落并嵌入摩擦副之間。這些硬質顆粒在兩個滑動面之間形成切削作用，破壞摩擦面，造成熔合磨損。這種由熔合磨損引起的過程本質上是“以兩個滑動面局部熔合為特征的嚴重損傷”。

由于速度較慢，硬板等離子體清洗機當板材沿厚度方向受熱時，其頂面和底面將一起處于塑性狀態。板的正面先受熱，板的背面受熱時先膨脹，使板產生很小的反向彎曲變形。由于加熱速度較慢，來自正面的熱量緩慢地傳遞到背面，導致正面和背面之間的溫度梯度非常小。在相對較大的受熱區域，材料隨著溫度的升高繼續熱膨脹，相鄰區域的冷材料需要限制膨脹，從而導致受熱區域的整體壓縮更大。

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這種結構就是護套層，可以是上面的電容器。電容器處于放電環境中，電荷存儲在表面上，從而產生電場。電場必須對應于電壓。由于平衡，也就是這個電場，和電壓是動態的靜電場，也就是直流電場和直流電壓，就形成了一個VDC。腔室的內壁接地，形成的偏置場阻擋電子，因此這個 VDC 在接地的內壁上具有負值或負偏置。施加到電極上的負偏壓與射頻電壓一起形成復合電壓，如下圖所示。

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