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非彈性碰撞導致激發（分子或原子中的電子從低能級躍遷到高能級）。能級）、解離（分子分解成原子）或電離（分子或原子從外部電子的鍵合狀態變為自由電子）。熱氣體通過傳導、對流和輻射將能量傳遞到周圍環境。在穩態下，fpc軟板等離子體表面處理機特定體積的輸入能量和損失能量相等。電子與重粒子（離子、分子、原子）之間的能量轉移率與碰撞頻率（每單位時間的碰撞次數）成正比。

測得的缺陷形成率是施加到柵極氧化物的電壓的冪函數。因此，軟板等離子表面改性故障時間與電壓的關系為TF = B0V-n (7-12)。如果氧化層足夠薄，缺陷形成率與氧化層厚度無關，但臨界缺陷密度會導致氧化層斷裂。它強烈依賴于氧化層。層厚度。對于low-k材料TDDB，也有對應的root E模型。將不同模型的擬合曲線與同一組加速 TDDB 測試數據進行比較。

CH4 + E * & MDASH;> CH3 + H + E (3-1) CH3 + E * & MDASH;> CH2 + H + E (3-2) CH2 + E * & MDASH;> CH + H + E (3-3) CH + E * & MDASH;> C + H + E (3-4) CH4 + E * & MDASH;> CH2 + 2H (H2) + E (3-5) CH4 + E * & MDASH;> CH + 3H (H2 + H) + E (3-6) CH4 + E * & MDASH; C + 4H (2H2) + E (3-7) 自由基和下一個產品 A 之間的耦合發生反應。

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為了提高滲透率，對滲透前的工件表面進行感應淬火，表面淬火后的工件表面為馬氏體和殘余奧氏體，屬于組織缺陷，隨后出現表面應力和重排等低溫有許多缺陷為氮化過程提供能量和結構支撐，激發氮原子的活性，增加和加速氮原子的擴散速率。滲透率。此外，工件表面淬火后，表層硬度大大提高，基體與氮化層之間的硬度梯度減小（降低），氮化層脫落現象得到改善，氮化層和襯底得到強化。

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