等離子表面處理機對人體的危害，主要是臭氧危害，臭氧是氧氣的同素異構體，在室溫下呈現出淡藍色，有刺激性氣味，且因其在常溫的情況下容易分解為氧氣，具有不穩定性質，因此不能很好的運輸和儲存。分布在大氣平流層中的臭氧在強紫外光輻射下產生，能夠有效的阻擋太陽輻射，但是分布于近地面的臭氧，則主要是由于工業生產以及人類活動等產生，當濃度超過一定限度時，對人體極為有害。
等離子表面處理機放電反應中包括很多過程，例如氧原子的產生、臭氧分子產生、臭氧分子的分解等。將氧氣當成是氣源，在放電等離子體環境中，臭氧的化學合成反應并不簡單，其與很多基元反應密切相關，這些反應對臭氧的產生有著積極的作用，一些反應與臭氧分解是密切相關的。對于臭氧來說，它是氧分子和氧原子相互碰撞形成的，所以，氧原子的產生是臭氧分子合成的基礎，針對臭氧發生來說，是十分關鍵的。
臭氧危害
雖然等離子表面處理機產生的臭氧具有很強的氧化性和化學活性，可以廣泛應用于材料表面處理去污等領域，但是當環境中的臭氧濃度到達一定濃度的時候，就會演變成臭氧污染。一方面，室內臭氧會在人體表面發生非均相反應，對人體健康的造成直接影響，表現為人體吸入過量的臭氧之后，細胞活性物質會被氧化，可能會引發咳嗽、呼吸困難，嚴重時甚至造成心肺功能下降等呼吸和心血管方面問題，尤其對于特殊人群，比如老人、小孩、免疫力低下的人群，臭氧所造成的健康威脅更大，甚至可能與人口死亡率增加有關系，并且這種對于人體的危害程度危害與接觸時間的長短有關，有研究表明長期接觸大約4ppm濃度的臭氧就會對人的心臟造成嚴重的傷害，但短期接觸約20ppm濃度的臭氧，不會對人體產生傷害。
另一方面，臭氧會間接造成二次污染，體現在其會與環境中的其他化學成分之間產生均相反應。由于臭氧的強氧化性及高化學活性，除了直接導致人類吸入被臭氧污染的空氣外，室內環境中的臭氧會與室內環境中的其他化學物質發生不可逆的化學反應，從而被消耗，但是室內各種器具、陳設等因為具有不同的化學物質表面而具有不同的化學特性，當臭氧接觸到這些表面物質時，因其強氧化特性會在物質表面發生化學反應，可能導致大量的二次反應污染產物，對人體產生更嚴重的危害，甚至可能誘發二次有機顆粒物。例如臭氧與地毯、油氈、衣服、家具等發生反應，釋放出易揮發的氧化產物，可能會對健康產生不利影響。目前環境流行病理學中的熱門研究領域之一就是研究臭氧及其二次反應對人體造成危害。24745