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等離子體刻蝕各向異性

聚合物具有分子設計性,等離子體刻蝕各向異性通過等離子體表面相互作用可以在表面引入不同基團來改善其性能,如親水性、疏水性、潤濕性、粘附性;引入生物活性分子或酶來改善其生物相容性。等離子體設備清洗技術對高分子材料進行表面改性,不僅提高了高分子材料在特定環境中的適用性能,而且拓寬了常規高分子材料的適用范圍。

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等離子體增強化學氣相沉積原理

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這些官能團通過電暈等離子體處理可在纖維和聚合物表面產生羥基(-OH)、醛基(-CHO)和羧基(-COOH),這些官能團對織物的吸濕性有良好的接枝作用。等離子體具有獨特的物理化學性質和溫度范圍特點。從而成為材料表面處理的有效工具。低溫等離子體處理可以提高亞麻織物的染色效率、染色率和出色率。等離子體處理的效果反映了大麻纖維的表面腐蝕和氧化。對于色牢度低的纖維制品,可采用低溫等離子體染色。通常可以得到滿意的著色。

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加入蝕刻過程可以快速生成聚合物提供壁保護氣體如CHF3、N2或CH4,使金屬鋁壁上的氟、氮或碳氫化合物相對優先吸附,進一步減少氯原子與鋁壁的反應接觸,保護壁,使氯氣對金屬基鋁的各向異性腐蝕能力更好。用等離子工業清洗機研究了三種不同氣體對鋁蝕刻后側壁形態的影響。結果表明:腐蝕過程中N2保護氣體產生過多的側壁保護,容易形成梯形側壁形貌;CHF3的側壁保護并不完美。

氬氣本身是惰性氣體,等離子體氬氣不會與表面發生反應,最常用的工藝是氬氣等離子體通過物理濺射使表面清潔。等離子體物理清洗不會產生氧化副作用,保持清洗材料的化學純度,腐蝕各向異性,缺點是對表面產生很大的損傷和熱效應,選擇性差,速度慢。化學清洗和物理清洗各有優缺點。在反應性離子腐蝕中,物理反應和化學反應這兩種機制的結合同時起著重要的作用,相互促進,且效果具有更好的選擇性、清潔率、均勻性和更好的方向性。

等離子體增強化學氣相沉積原理

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通過這種方式,應用于等離子體表面處理后的表面材料,材料的原始表面化學鍵可以毀滅,以創建一個新的反應氛圍,從而形成交聯網絡的結構與這些債券在等離子體,并極大地刺激(激活)表面特異性。第二,等離子體刻蝕各向異性等離子體表面處理可以形成新的功能群在等離子體表面處理中,混合氣體的反應會在放電混合物中建立,使被活化的原料表面會發生復雜的化學反應。

等離子清洗原理什么是等離子?等離子體是一種存在狀態的物質,等離子體刻蝕各向異性通常物質以固體、液體、氣體三種狀態存在,但在某些特殊情況下可以以第四種狀態存在,如太陽表面的物質和地球大氣中的電離層。這種物質的狀態被稱為等離子體狀態,也被稱為物質的第四態。等離子體主要由氣體放電產生,含有電子、離子、自由基、紫外線等高能物質,具有活化物質表面的作用。

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