2.真空腔體真空腔體主要是分為兩種材質的：1）不銹鋼真空腔體。2）石英腔體。3.真空泵真空泵分為兩種：1）干泵。2）油泵。
在實際生產中，泉州真空等離子清洗的旋片羅茨式真空泵發現等離子清洗機的一些重要部件隨著時間的推移會出現不同程度的氧化、老化、腐蝕等問題，使得等離子清洗機無法實現。清潔效果。反應室、電極、托盤架、氣壓等原因下面對一些重要部件在維護前后的影響以及如何維護進行說明。清潔等離子腔腔 清潔等離子腔時產生的大部分污垢都接近電子水平儀，并由真空泵去除。但是，它也會產生一些大顆粒污染物。這些大的污垢顆粒會粘附在腔室壁、電極和托盤支架上。
等離子清洗/刻蝕機產生等離子體的裝置是在密封容器中設置兩個電極形成電場，泉州真空等離子清洗的旋片羅茨式真空泵用真空泵實現一定的真空度，隨著氣體愈來愈稀薄，分子間距及分子或離子的自由運動距離也愈來愈長，受電場作用，它們發生碰撞而形成等離子體，這時會發出輝光，故稱為輝光放電處理。 輝光放電時的氣壓大小對材料處理效果有很大，影響另外與放電功率，氣體成分及流動速度、材料類型等因素有關。
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泉州真空等離子清洗分子泵組原理
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單晶片級等離子清洗機和 3D 芯片封裝應用的理想選擇。等離子應用包括除灰、灰化/光腐蝕/聚合物剝離、介電蝕刻、晶圓凸塊、有機物去除和晶圓脫模。等離子清洗機的作用是快速清洗材料表面的有機和無機污漬，增加滲透性，顯著改變粘合強度和焊接強度，去除殘留物。離子過程易于控制并且可以安全地重復。有效的表面處理對于提高產品可靠性和工藝效率極為重要。等離子清洗機也是一種理想的等離子表面改性材料工藝。
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等離子發生器加工工藝加工后不加工。它不會在紙箱表面留下任何痕跡，并抑制氣泡的產生。。使用帶有等離子清潔器的折疊膠合機可以降低貴公司的成本。使用帶糊盒機的等離子清洗機可以顯著降低糊盒機的成本，解決糊盒機工藝的脫膠情況。等離子清洗機不劃傷包裝盒表面，提高附著力，不易產生紙滴，??易于清潔工作環境，不干擾工作效率，節省高強度成本。海藻。糊盒經過等離子清洗機適當處理后，去除表面有機化學污染物，清洗表面。
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