真空等離子清洗機 60L

產品型號 JL-VM60
產品類別 真空等離子清洗機
應用范圍
微組裝模塊的引線鍵合前清洗，清洗過程不會損傷裸芯片等敏感、易損器件；對電子材料、金屬材料、塑料、玻璃、橡膠、PTFE等，表面進行清洗，活化改性，去有機物，去氧化物，去顆粒；提升親水性，增強粘接性，附著力，分子活性。

微組裝模塊的引線鍵合前清洗，清洗過程不會損傷裸芯片等敏感、易損器件；對電子材料、金屬材料、塑料、玻璃、橡膠、PTFE等，表面進行清洗，活化改性，去有機物，去氧化物，去顆粒；提升親水性，增強粘接性，附著力，分子活性。

型號	JL-VM60
等離子源系統	頻率		13.56MHz 射頻	40KHz 中頻
	功率		0~1000W可調	0-3000W可調
			選配
真空系統	真空腔體	材質	316L不銹鋼、航空鋁（選配）
		腔體內部尺寸(MM)	400400400（寬高深)
		腔體容積	60L
		極板	5層極板5層托盤可拆卸式,層間距30mm，水平式，活動可調節
		可放最大產品尺寸	320mm*280mm
		密封性	軍工級焊接密封
	泵	泵組	油泵/干泵+羅茨泵組合（選配）20?/H
		真空管路	不銹鋼管、不銹鋼波紋管
	真空計		1×105~1×10-1Pa
	質量流量計		＜±1% FS 質量流量控制（MFC）系統
	氣路控制		2-4路處理氣體氣路，氣體流量可調
	真空度基礎壓力設定范圍		10Pa-50Pa
適用氣體	流量范圍		0-500SCCM（可調）
	工藝氣體		Ar、N?、O?、H?等等（可選）
控制系統	1、PLC 自動控制；
	2、7寸觸摸屏,圖形用戶界面；
	3、配方程序為 0~99；
	4、多級權限操作；
	5、圖形化曲線圖自動監測工藝參數狀態及錯誤信息；
	6、存儲工藝數據及錯誤信息；
	7、配備聲光報警裝置,報警信息提示及追溯；
	8、保護功能：工作氣體耗盡報警、壓縮空氣力低于設定值報警、反應倉泄露率過大報警、控制面板處設急停按鈕等
	9、免靜電清洗等多種清洗模式
	10、圖形化界面檢測處理參數；
	11、自動、手動操作可切換；
	12、維護提示緊急停止按鈕；
	13、門感應器和真空互鎖；
	14、顯示功能：工藝參數顯示；運行時間顯示；工藝過程實時監視并顯示運行狀態，如泵的、射頻電源監視并顯示運行狀態，如泵的、射頻電源監視并顯示運行狀態，如泵的、射頻電源質量流量等；故障報警，提示項目
	15、機器運行信號指示；
	16、機器運行結束提示；
	17、設備無WIFI，無藍牙，無讀卡器等相關裝置
外觀參數	外形尺寸(MM)		9001750900(寬高深）
	重量		320KG
設施配置	電力		五線線三相制AC220V ,50-60Hz。所有配線符合《低壓配電設計規范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設計規范》等國標標準相關規定
	整機功率		2KW
	壓縮空氣		干燥壓縮空氣CDA 0.5MPa
	其它		提供操作手冊、維護手冊、安裝手冊，易損件備件清單.