主權(quán)利要求:1.一種帶有超高頻電源的小型等離子發(fā)生器，涂層附著力拉拔試驗裝置包括處理管（2），處理管（2）內(nèi)設(shè)有對空氣進行凈化的低溫等離子凈化裝置，低溫等離子凈化裝置包括呈方形設(shè)置的框架(4)，所述框架(4)內(nèi)互相平行設(shè)有若干電極(42)，所述電極(42)與超高頻電源相連，所述電極(42)外套設(shè)有石英管(421)，所述電極(42)包括正電極以及負電極，其特征在于：所述正電極與負電極間隔設(shè)置，負電極設(shè)置在相鄰兩正電極連線的側(cè)面，所述正電極固定在框架(4)的頂部，所述負電極固定在框架(4)的底部，所述框架(4)上沿石英管(421)的長度方向設(shè)有抵接桿(6)以及驅(qū)動抵接桿(6)始終與石英管(421)的端面抵接的第一彈性件，所述抵接桿(6)上設(shè)有動觸點(61)，所述框架(4)上與動觸點(61)對應(yīng)設(shè)有靜觸點(43)，所述動觸點(61)以及靜觸點(43)連接有報警電路。

整個清洗過程可以在幾分鐘內(nèi)完成,所以它有高收益的特點,易于使用的數(shù)控技術(shù),自動化程度高,高精度控制裝置,高精度時間控制;正確的等離子體清洗不會產(chǎn)生表面損傷層,表面質(zhì)量得到保證。由于是在真空中進行，涂層附著力拉拔試驗裝置不污染環(huán)境，保證清洗表面不受二次污染。等離子體工藝是一種干法工藝，與濕法工藝相比，它有許多優(yōu)點，這是由等離子體本身的特性決定的。

在大氣壓脈沖等離子體表面處理裝置的電暈條件下，涂層附著力拉拔試驗裝置C2H6的轉(zhuǎn)化率和C2H2的收率隨著增加而增加。能量密度的增加略微增加了C2H4的產(chǎn)率，但CH4的產(chǎn)率并沒有隨著等離子體能量密度的增加而變化很大。當?shù)入x子體能量密度為860KJ/MOL時，C2H6的轉(zhuǎn)化率為23.2%，C2H4和C2H2的總收率為11.6%。

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涂層附著力拉拔試驗

非平衡等離子體中電子的能量分布與重粒子不同，兩者處于不平衡狀態(tài)，因此含電子氣體的溫度為中性粒子和含離子氣體的溫度。通過這種方式，可以誘導(dǎo)高能電子通過碰撞激發(fā)氣體分子，或者使氣體分子解離和電離。上述過程產(chǎn)生的自由基可以分解污染物分子。等離子體的化學作用可以實現(xiàn)物質(zhì)的化學轉(zhuǎn)化。與僅依靠等離子體的熱效應(yīng)的分子分解相比，等離子體的化學作用被用來實現(xiàn)更有效的物質(zhì)轉(zhuǎn)化。

在確定等離子刻蝕機的放電空間時，當放電電流均勻時，在放電電流峰值附近可以拍攝到10ns的放電圖像，發(fā)現(xiàn)放電中沒有明暗放電燈絲，說明放電在空間上是均勻的，所以這種在大氣壓氦氣中容易得到的放電是均勻放電；同時，在瞬時陰極附近可以看到高亮度的發(fā)光層，這是輝光放電的典型特征。由此可以斷定，大氣壓氦放電屬于輝光放電。

氣體被電離，電離氣體中含有大量的電子、離子和一些中性粒子（原子和分子），其間電子和離子的電荷大致相同，宏觀上看是電中性的。或統(tǒng)一的感覺。以水為例。當溫度低于0°C時，水看起來就像是“冰”的固體。當溫度在0°C和 °C之間時，水是液體，或“水”。 ”；當溫度超過 ℃時，水變成氣態(tài)，或稱“水蒸氣”。

由于物體表面的撞擊，吸附在物體表面的氣體分子會被分解和吸附，大量的電子碰撞有利于化學反應(yīng)。因為電子的質(zhì)量很小，所以它們比離子跑得快。在低溫等離子體過程中，電子比離子早到達物體表面，表面帶負電荷，這有利于引發(fā)進一步的反應(yīng)。。等離子體作為物質(zhì)(除固體、液體和氣體外)的第四種狀態(tài)，是由氣體部分或完全電離而產(chǎn)生的非凝聚系統(tǒng)，一般含有自由電子、離子、自由基、中性粒子等。

涂層附著力拉拔試驗裝置