等離子表面處理設(shè)備在汽車工業(yè)中的應(yīng)用已廣泛應(yīng)用于汽車車燈、各種橡膠密封件、內(nèi)飾、剎車塊、雨刷、油封、儀表盤、安全氣囊、保險杠、天線、發(fā)動機密封、GPS、DVD、儀表、傳感器、汽車車門密封等。

【真空等離子體處理設(shè)備】表面等離子體基本原理:表面等離子體(Surface Plasmons, SPs)是指自由振蕩的電子與光子相互作用而產(chǎn)生的沿金屬表面?zhèn)鞑サ碾娮用芏炔?。其物理原理如?如圖所示，環(huán)氧樹脂與ps附著力在兩個半無限各向同性介質(zhì)的界面處，介質(zhì)的介電常數(shù)為正實數(shù)，金屬的介電常數(shù)為實部為負的復(fù)數(shù)。根據(jù)麥克斯韋方程，結(jié)合邊界條件和材料性質(zhì)，計算表面等離子體的場分布和色散特性。

根據(jù) Allied Market Research 的數(shù)據(jù)，環(huán)氧樹脂與ps附著力對高品質(zhì)音頻的需求正在推動 D 類音頻放大器市場的增長，預(yù)計到 2026 年該市場將從 2018 年的 24.9 億美元增長到 49.2 億美元。使用 GaN，配套的 SMPS 設(shè)計非常高效，并且無需散熱器即可運行。這些功能使音頻設(shè)計工程師能夠縮短產(chǎn)品上市時間，并以可承受的價格創(chuàng)造出高質(zhì)量的音頻產(chǎn)品。

兩支光電倍增管（T1,T2)分別置于高壓電極的兩側(cè)，環(huán)氧樹脂與ps附著力距電極邊緣0.5cm。示波器同時記錄下光電倍增管的光電流信號以及放電時的電流、電壓信號。借助該實驗裝置，我們能夠得到在外加電壓約為2.25kV時放電形成的光信號以及電壓、電流的時域變化的曲線如下圖：從電流曲線能夠看得出，這時候放電處在流注模式。T1、T2光信號曲線在正半周和負半周都基本上是重合的。正半周時，光信號的前沿超前電流脈沖信號前沿約5μs。

環(huán)氧樹脂與ps附著力

等離子體有別于固體、液體、氣體三態(tài)物質(zhì), 是宇宙中最廣泛存在的物質(zhì)狀態(tài), 稱為物質(zhì)的第四態(tài)。 等離子體含有各類活性粒子, 如離子、電子、自由基、激發(fā)分子、紫外光等。

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在60到90度之間的溫度比在環(huán)境溫度下的等離子腐蝕速度快四倍。對于溫度敏感元件或使用溫度敏感元件，等離子蝕刻可以降低到15攝氏度。所有溫度控制系統(tǒng)都預(yù)先編程并集成到軟件中。在空腔中引入不同的氣體可以修改工藝。常見氣體有O2、N2、Ar、H2和CF4。大多數(shù)實驗室單獨或組合使用這五種氣體用于真空等離子體清洗設(shè)備。真空等離子體清洗設(shè)備在半導(dǎo)體封裝中可以說是無處不在。

在等離子體中，由于電子比重粒子移動得快，絕緣體表面產(chǎn)生負電荷的凈積累，即絕緣體表面相對于等離子體區(qū)域具有負電位。表面區(qū)域的負電位將排斥隨后向表面移動的電子，并吸引正離子，直到它們耗盡邊緣表面的負電位達到一定的值，使離子流與電子流相等。此時絕緣子表面電位Vf趨于穩(wěn)定，Vf與等離子體電位(VP-VF)的差值保持不變。此時，絕緣體表面附近有一空間電荷層，即離子鞘。

ps附著力促進樹脂