等離子體產生的氧自由基非常活躍，上海低溫表面等離子處理機原理很容易與碳氫化合物反應形成二氧化 碳。碳、一氧化碳和水等揮發物可去除表面的污染物。。等離子清洗劑主要按反應類型和激發頻率分類。反應類型分類等離子體與固體表面之間的反應可分為物理反應（離子沖擊）和化學反應。物理反應機理是活性粒子與被清洗表面碰撞。這將污染物與表面分離，并最終被真空泵吸入。

NiO / Y-Al2O3> ZnO / Y-Al2O3 ≈ MoO3 / Y-Al2O3> Re2Q7 / Y-Al2O3> TiO2 / 7-Al2O3 ≈ Cr2O3 / Y-Al2O3 ≈ Mn2O3 / Y-Al2O3> Na2WO4 / Y-Al2O3 ≈ FeO3 / Y-Al2O3> Co2O2 / Y-Al2O3。

晶圓制造、pcb線路板和plasma在四氟化碳氣體的應用一、晶圓制造plasma應用領域 在晶圓制造行業領域中光刻機運用四氟化碳混合氣體開展單晶硅片的線路蝕刻，上海低溫等離子電暈處理機原理plasma運用四氟化碳開展氮化硅蝕刻及光刻膠清除。 plasma運用純四氟化碳混合氣體或四氟化碳與O2互相配合的方式方法可對晶圓制造中的氮化硅開展微米級的蝕刻，運用四氟化碳與O2或氫氣互相配合的方式方法可對微米級的光刻膠開展清除。

等離子體清洗機表面處理去膠的影響因：選頻：頻率越高，上海低溫表面等離子處理機原理氧氣就越容易離子化產生等離子體，電子的振幅小于平均范疇，電子與氣體分子結構的碰撞幾率降低，使弱電解速度降低。頻率選擇通常為13.56MHz和2.45GHz。功效輸出：對于一定量的氣體，輸出功率大，活性微粒密度大，去膠速度快，但當輸出功率提高到一定值時，耗能的活性離子到達飽和，再增加輸出功率，去膠速度也是不明顯。

上海低溫表面等離子處理機原理

在塑料薄膜或紙面上鍍極薄的金屬鋁，即形成鍍鋁膜或鍍鋁紙。等離子體是電離了的氣體。電子、離子、中性粒子三個組分構成，在這些組分中，電子與離子的總電荷量基本相同，因而為電中性。電離等離子體中的電子和離子，在基材薄膜鍍鋁之前，通過 等離子處理設備將其打向基材膜表面，一方面，材料的長鏈狀開放，并引發高能基團；與此同時，歷經撞擊使薄膜表面出現細小的凹陷，并能使表面的雜質分離，重解。

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