電磁場在石英管中形成,等離子蝕刻設備石英管將氧電離形成氧離子。這是活性(化學)氧原子、氧分子和電子的混合物的等離子體輝光柱?;钚裕╝ctive)氧(active atomic oxygen)將聚酰亞胺薄膜迅速氧化成揮發性氣體,通過機械泵抽出,去除硅片上的聚酰亞胺薄膜。等離子脫膠的優點是脫膠操作方便、脫膠效率高、表面清潔光滑、無劃痕、成本低、環保。介電等離子蝕刻設備一般采用電容耦合等離子平行板反應器。

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n12 + 188.25 n13) kJ/mol (4-5) 在式(4-5)中,n11、n2和n3分別表示以下。 n11為C2烴產物中C2H6的摩爾分數,mol/%,n12為C2烴產物中C2H4的摩爾分數,mol/%;n13為C2烴產物中C2H2的摩爾分數,比率為摩爾/%。

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