這些都會導致電路的長期可靠性得不到保證。等離子體是由正離子、負離子、自由電子等帶電粒子和激發(fā)態(tài)分子、自由基等不帶電中性粒子組成的部分電離氣體。因為它的正負電荷總是相等，煙臺免電暈處理油墨價格所以叫等離子體。一些非聚合無機氣體(Ar、N2、O2等）在高頻低壓下激發(fā)產(chǎn)生含有離子、激發(fā)分子和自由基的等離子體。通過等離子體轟擊，可以解吸襯底和芯片表面的污染物，有效去除鍵合區(qū)的污染物，提高鍵合區(qū)表面的化學能和潤濕性。
等離子體作用于材料表面，電暈處理機靜電消除機使表面分子的化學鍵重新結(jié)合，形成新的表面特性。對于一些特殊材料，等離子清洗機的輝光放電不僅增強了這些材料在超級清洗過程中的附著力、相容性和潤濕性。等離子體清洗機廣泛應用于光學、光電子、電子學、材料科學、生命科學、高分子科學、生物醫(yī)學、微流體等領域。。
處于等離子體狀態(tài)的物質(zhì)有以下幾種：高速運動的電子；處于活化狀態(tài)的中性原子、分子和原子團（自由基）；電離原子和分子；未反應的分子、原子等，電暈處理機靜電消除機但物質(zhì)作為一個整體保持電中性。在真空室內(nèi)通過射頻電源在一定壓力下產(chǎn)生高能無序等離子體，用等體子體轟擊被清洗產(chǎn)品表面，達到清洗的目的。
不同等離子體的自偏壓不同，煙臺免電暈處理油墨價格超聲等離子體的自偏壓在0V左右，射頻等離子體的自偏壓在250V左右，微波等離子體的自偏壓很低，只有幾十伏，三種等離子體的機理不同。超聲等離子體的反應是物理反應，射頻等離子體的反應是物理反應和化學反應，微波等離子體的反應是化學反應。超聲等離子體清洗對被清洗表面影響較大，因此在實際半導體生產(chǎn)應用中多采用射頻等離子體清洗和微波等離子體清洗。
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材料需要活化（化學），改性材料需要用13.56MHz或20 MHz等離子體清洗，40kHz的自偏壓約為1000伏，13.56MHz的自偏壓約為250V，20 MHz的自偏壓更低，這三種不同激發(fā)速率的體系是不同的。
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