一些非聚合物無機氣體（Ar2、N2、H2、O2 等）在高低頻下被激發，舟山等離子真空清洗機原理產生各種含有離子、激發分子、自由基等的活性粒子。通常，在等離子清洗中，活性氣體如下。它可以分為兩類。一種是惰性氣體（Ar2、N2 等）的等離子體，另一種是反應氣體（O2、H2 等）的等離子體。這些活性粒子可以與表面材料發生反應，反應過程如下：電離-氣體分子-激發-激發分子-清洗-表面活化等離子清洗機在液晶行業的應用等離子原理如下。
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1正負極片涂覆前金屬薄膜等離子清洗機處理，轎車動力鋰電池的正負極片是在金屬薄膜上涂覆正負極資料制作而成的，與乙醇等溶液清洗相比，等離子清洗機處理不只不會對資料造成損害、無殘留物產生，而且能夠清除資料外表有機物、增加薄膜外表浸潤性，對涂覆的均勻性、熱穩定性、安全性均有進步。
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