(1)原子團等氧自由基與物體表面的反應：氧自由基是電中性的，驅動力反力對附著力的影響主要出現在化學反應過程中能量轉移的活化中。與物體表面的分子發生化學反應，不斷產生新的氧自由基，釋放出大量的鍵能，驅動新的表面反應，引起化學反應和去除。
等離子蝕刻機又稱等離子蝕刻機、等離子平面蝕刻機、等離子表面處理儀、等離子清洗系統等。等離子蝕刻機技術是干式蝕刻的一種常見形式，驅動力反力對附著力的影響其原理是暴露在等離子體氣體形成的電子區域，產生等離子體并釋放出高能量的電子氣體，形成等離子體或離子，當等離子體原子受到電場加速時釋放出足夠的力來接近材料或蝕刻表面，從而形成一個驅動力。在一定程度上，等離子體清洗實際上是等離子體刻蝕過程中的一種輕微現象。
還有的情況是，附著力的大小怎么判斷自由基與物體表面的分子結合時，會釋放出大量的結合能，而結合能又成為引發新的表面反應的驅動力，從而引發物體表面物質的化學反應而被清除。三。
當采用氫等離子體放電進行惰性氣體等離子體表面處理時，附著力的大小怎么判斷如果處理后的聚合物數據本身含有氧氣，就會裂解大分子，形成大分子碎片進入等離子體，給等離子體系統供氧，也會發生氧等離子體的效應。如果數據本身不含氧，惰性等離子體處理后的新自由基（半衰期可達2~3天）和空氣中的氧的作用也會導致氧與大分子鏈結合，因此，惰性氣體等離子體處理含氧聚合物數據時，會出現交聯蝕刻和引入極性基團的競爭響應。
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