等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、原子、活性基團、激發態的核素（亞穩態）、光子等離子機就是通過利用這些活性組分的性質來處理樣品表面，電泳附著力有什么目的從而實現清潔、涂覆等目的。
產生的自由基、正負離子在電場的持續加速和高速運動碰撞下與材料表層發生碰撞，電泳附著力有什么目的破壞分子間原有的分子間鍵，使PI表層斷裂，物質形成細小不規則，同時產生的氣體變成官能團，繼續引起物質表層的物理和化學變化。總的來說，整個過程就是氣體不斷電離和不斷復合的過程，保證了整個反應的不斷進行，達到了粗化PI表層和改性PI表層的目的。
通常，電泳附著力劃線測量一種物質以三種狀態存在：固態、液態和氣態，但在某些條件下，還有第四種狀態，例如：地球大氣中的電離層物質。以下物質以等離子體狀態存在：快速運動的電子；中性原子、分子、處于活化狀態的原子團；電離的原子、分子；中性狀態。在真空室中，高頻電源在恒壓下產生高能混沌等離子體，等離子體與清洗后的產品表面碰撞。用于清潔目的。在線等離子清洗機適用范圍：在線等離子清洗機通常用于以下應用： 1. 等離子表面的活化/清洗。
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腐蝕性氣體等離子體具有優良的各向異性，可以滿足刻蝕需要。等離子處理之所以稱為輝光放電處理，是因為它會發出輝光。 【真空等離子裝置】 等離子處理的機理主要依靠等離子中活性粒子的“活化”，達到去除物體表面污垢的目的。從反應機理來看，等離子清洗通常涉及以下幾個過程。
在等離子體中，不同粒子的溫度實際上是不同的。等離子體中存在的離子的溫度以溫度 Ti 表示。電子的溫度用Te表示，原子、分子、原子團等中性粒子的溫度用Tn表示。如果 Te 遠高于 Ti 或 Tn，即為低壓氣體。氣體的壓力只有幾百帕斯卡。當使用直流電壓或高頻電壓作為電場時，電子本身的質量非常小，以至于它們傾向于在電池中加速。能夠得到幾個電子伏特的平均值。
1.plasma設備的物理反應機理是將表面上的污染物轟擊到表面，最后由真空泵吸走，以物理反應為主的等離子體清洗，其優點是不容易形成化學變化，清洗表面不容易留下氧化物，因此清洗后的表面會有很大的殘留氧化物。2.plasma設備的化學變化機制是各種活性顆粒和污染物反應形成揮發性物質，然后真空泵吸收揮發性物質。
當電子輸運到表面清洗區域時，與清洗表面吸附的污染物分子發生碰撞，會促使污染物分子發生分解而產生活性自由基，這會有利于引發污染物分子的進一步活化反應;而且，質量很小的電子比離子運動要快得多，因此電子要比離子更早到達物體表面，并使表面帶有負電荷，從而有利于引發進一步活化反應。 一般情況下，等離子體中自由基的存在數量比離子多，呈現電中性，壽命比較長，且具有大的能量比較高。
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