等離子體清洗/蝕刻機產生等離子體設備設置在密閉容器中,兩個電極形成電場與真空泵達到一定程度的真空,隨著氣體變得越來越薄,分子間距和自由運動的分子或離子之間的距離也越來越長,電場,電泳漆膜附著力檢測標準是它們碰撞形成等離子體。這些離子非?;钴S,它們的能量足以摧毀幾乎所有的化學鍵,在任何暴露的表面引起化學反應。等離子體的不同氣體具有不同的化學性質,如氧等離子體具有高氧化性,可以氧化光刻膠反應生成氣體,從而達到清洗的效果。

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3、室內真空高頻電極之間的電壓和接地裝置,使氣體被擊穿而發生輝光放電等離子體電離,讓產生的等離子體在真空室在加工工件,開始清洗,清洗處理最后幾秒到幾十分鐘,根據材料的不同加工。4、清洗完畢后,漆膜附著力檢測表切斷電源,并通過真空泵排出氣體和氣化污垢,結束清洗。真空等離子清洗機有許多優點:如采用數控技術,自動化程度高;配有高精度的控制裝置,時間控制精度高;正確的等離子清洗不會在表面產生損傷層,表面質量能得到保證。

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