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各廠家生產的真空泵是多用途潤滑油,減少了真空系統的摩擦,這種方法雖然增加了一系列的過濾單元可以解決這個問題,但這會導致真空泵制造成本的增加和維護的困難,這也導致了真空泵的結構更加復雜,故障率增加,而真空泵腔環境污染問題一直沒有得到很好的解決。無油干式真空泵的發展為真空泵系統的清洗提供了新的思路。

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