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在實(shí)際使用過(guò)程中,通常使用Ar氣來(lái)進(jìn)行物理反應(yīng),使用O 2或者H 2來(lái)進(jìn)行化學(xué)反應(yīng),其反應(yīng)原理示意圖如圖1所示。等離子清洗的效果通常用滴水實(shí)驗(yàn)來(lái)直觀反應(yīng),如圖2所示,等離子清洗前接觸角約為56°,等離子清洗后表面接觸角約為7°。 在電子封裝中,通常使用物理化學(xué)結(jié)合的方式進(jìn)行等離子清洗,以去除在原材料制造、運(yùn)輸、前工序中殘留的有機(jī)污染物及芯片焊盤和引線框架表面形成的氧化物。

從上圖可以看出,在一組電極上施加射頻電壓(頻率約為幾十兆赫),在電極與其區(qū)域內(nèi)的氣體之間形成高頻交流電場(chǎng),由交流電場(chǎng)。產(chǎn)生等離子體。由于活性等離子體對(duì)被清洗物表面具有物理沖擊和化學(xué)反應(yīng)的雙重作用,使被清洗物表面物質(zhì)變成顆粒和氣態(tài)物質(zhì),通過(guò)真空排出達(dá)到目的。打掃。液晶行業(yè)等離子清洗機(jī)等離子清洗的清洗過(guò)程,原則上可以分為兩個(gè)過(guò)程。過(guò)程一是去除有機(jī)物首先利用等離子體原理激活氣體分子。

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等離子清洗機(jī)的清洗原理:等離子體是物質(zhì)的一種存在狀態(tài),廣東等離子除膠機(jī)品牌通常物質(zhì)以固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)三種狀態(tài)存在,但在一些特殊的情況下有第四中狀態(tài)存在,如地球大氣中電離層中的物質(zhì)。等離子體狀態(tài)中存在下列物質(zhì):處于高速運(yùn)動(dòng)狀態(tài)的電子;處于激活狀態(tài)的中性原子、分子、原子團(tuán)(自由基);離子化的原子、分子;未反應(yīng)的分子、原子等,但物質(zhì)在總體上仍保持電中性狀態(tài)。