用于真空系統的大腔等離子清洗機。它的特點是低溫等離子體能量高，路面附著力 摩擦力但低溫等離子體密度相對較小，所以不需要配對，生產成本低。通常5到20千瓦。射頻電源:工作頻率13.56mhz，輸出功率從0到600w可調，全智能真空系統電容適配器。此外，還可配中頻電源，工作頻率為40KHz，輸出功率在0- 5kw，可調13.56mhz又稱射頻電源，是一種常見的電源類型，其特點是低溫等離子體能量低，但低溫等離子體密度高。
當向氣體施加足夠的能量以使其電離時，路面附著力 摩擦力它就會變成等離子體狀態。等離子體的“活性”成分包括離子、電子、活性基團、激發核素（亞穩態）、光子等。等離子清潔劑通過發揮這些活性成分的特性來處理樣品表面，以滿足清潔和其他需求。等離子體與固體、液體和氣體一樣，是物質的狀態，也稱為物質的第四態。當向氣體施加足夠的能量以使其電離時，它就會變成等離子體狀態。
的各種氣體等離子清洗機的清洗效果是不同的,因為材料的等離子體清洗是不一樣的,要求是不同的,治療各種過程,會選擇相應的氣體,根據清潔的程度,調整輸入氣體的比例,清洗停留時間等參數。目前等離子清洗機常用的氣體有空氣、氧氣、氬氣、氫氣、氬氫混合氣、CF4等。每種氣體的特性不一樣，路面附著力 摩擦力清洗效果也不一樣。有的還會選擇混合氣體，即多種氣體混合在一起達到最佳的清洗效果。
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在等離子體條件下研究了在 MGO/Y-AL2O3、CAO/Y-AL2O3、SRO/Y-AL2O3 和 BAO/Y-AL2O3 的作用下 CO2 氧化 CH4 生成 C2 烴的反應（表 4）。-2） .與載體 Y-AL2O3 的結果相比，CH 轉化率有所下降，但 C2 烴的選擇性提高了 40 多個百分點，表明酸性載體上負載的堿性活性組分可以提高催化活性。
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