在清洗過程中，怎么讓噴漆的附著力變強等離子清洗機必須保持一定的真空度（0.1-0.2torr），才能產生輝光進行清洗。在0.1-0.2 torr的真空下清潔效果（結果）相同。當真空度較低時，相對光彩會變強。清潔過程必須始終清除真空泵送的污染物，同時補充清潔氣體。進氣和抽出的氣體必須處于動態平衡，以保持一定的真空度。如果進氣量太大，對真空泵的要求就會很高，會浪費氣體。此外，要求苛刻的超凈氣源必須先過濾后才能放入等離子清洗器腔內。
它由電離的導電氣體組成，附著力變小代表什么包含六種典型粒子：電子、陽離子、負離子、激發態原子或分子、基態原子或分子、光子。當物質從低能聚集態轉變為高能聚集態時，能量來自外界（加熱、電場、輻射等），每個粒子從固態轉變時需要0.01 eV到一個原子。從液體或液體到氣體（1eV=1.6022×10-19焦耳），當氣體從外界吸收更多能量時，分子的熱運動變強，分子解離成原子，電子變成原子從電子中獲得足夠的能量，變成一個自由電子。
等離子體清洗主要是由等離子體處理的過程中大量的活性粒子,和各種粒子反應的活性雜質污垢表面的對象,形式很容易打材料,如天然氣,另一方面是各種粒子轟擊清洗材料表面,這種清洗方式本身，附著力變小代表什么沒有化學反應，因此，材料的各向異性能得到很好的保證。
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對于Te大大高于Ti和Tn的場合，即低壓氣體的場合，此時氣體的壓力只有幾百個帕斯卡，當采用直流高壓或高頻電壓做電場時，由于電子本身的質量很小，在電場中容易得到加速，從而可獲得平均可達數電子伏特的高能量，對于電子，此能量的對應溫度為幾萬度k，而離子由于質量較大，很難被電場加速，因此溫度僅有幾千度。由于氣體粒子溫度較低（具有低溫特性），因此把這種等離子體稱為低溫等離子體。
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