液滴角測試儀是一種專業(yè)的分析儀器，晶圓等離子體去膠機(jī)以蒸餾水為檢測液，利用高靈敏度的水表面張力來評價固體材料的表面自由能或固體材料與水的潤濕角。在半導(dǎo)體芯片行業(yè)，特別是在晶圓制造過程中，對清潔度的要求非常高，只有滿足要求的晶圓才能被認(rèn)為是合格的。液滴角度測試儀作為評價大氣等離子體清洗機(jī)等離子體清洗效果的測試工具，是評價晶圓片質(zhì)量的有效工具。近年來，中國晶圓行業(yè)發(fā)展迅速，對芯片滴角的檢測提出了更高的要求。
反應(yīng)室中氣體的輝光放電，晶圓等離子表面處理設(shè)備包括離子、電子和自由基等活性物質(zhì)的等離子體，通過擴(kuò)散吸附在介質(zhì)表面，與介質(zhì)表面原子發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，形成揮發(fā)性物質(zhì)。在一定的壓力下，高能離子也對介質(zhì)表面進(jìn)行物理轟擊和腐蝕，以去除再沉積反應(yīng)產(chǎn)物和聚合物。介質(zhì)層的蝕刻是由物理化學(xué)和物理化學(xué)共同作用完成的。等離子體蝕刻原理:蝕刻是晶圓制造工藝中的重要環(huán)節(jié)，也是微電子IC制造工藝和微納制造工藝中非常重要的環(huán)節(jié)。
簡單來說，晶圓等離子表面處理設(shè)備該自動清洗平臺是多片同時清洗，優(yōu)點(diǎn)是設(shè)備成熟，容量大，而單片清洗設(shè)備是一塊清洗，優(yōu)點(diǎn)是清洗精度高，背面、斜面和邊緣都可以有效清洗，同時避免晶圓之間的交叉污染。在45nm之前，自動清洗臺就可以滿足清洗要求，目前仍在使用;45以下的工藝節(jié)點(diǎn)依靠單片清洗設(shè)備來實(shí)現(xiàn)清洗精度要求。隨著工藝節(jié)點(diǎn)的不斷減少，單片晶圓清洗設(shè)備是當(dāng)前可預(yù)見技術(shù)下未來清洗設(shè)備的主流。
該裝置利用高頻高壓能量在真空等離子體脫膠反應(yīng)室中產(chǎn)生氧離子和游離氧原子。一種由氧分子和電子混合而成的等離子體，晶圓等離子體去膠機(jī)其中自由氧原子具有很強(qiáng)的氧化能力(約10-20%)，在高頻電壓下與晶圓抗蝕劑膜發(fā)生反應(yīng):O2& Rarr;O*+O*，CxHy+O*CO2合成的CO2和H2O反應(yīng)后立即被泵出。表面等離子處理設(shè)備等離子脫膠的優(yōu)點(diǎn)是脫膠操作簡單，脫膠效率高，表面干凈光滑，無劃痕，成本低，環(huán)保。
晶圓等離子體去膠機(jī)
等離子清洗機(jī)鉛焊前處理:當(dāng)晶圓片粘貼到基板上時，在固化過程中特別容易加入一些細(xì)小的顆粒或氧化物，即這些污染物會降低焊縫的強(qiáng)度，虛焊或焊縫質(zhì)量差。要解決這一問題，需要等離子體清洗來提高器件的表面活性，增加結(jié)合強(qiáng)度，提高拉伸均勻性。
此外，等離子清洗機(jī)在使用成本、加工效率、環(huán)保等方面也具有顯著的優(yōu)勢。可以預(yù)見，隨著中國LED產(chǎn)業(yè)的穩(wěn)步健康發(fā)展等離子清洗設(shè)備和等離子表面處理技術(shù)將得到更廣泛的應(yīng)用。。等離子清洗機(jī)的作用——清洗、腐蝕、晶圓表面脫膠:等離子清洗機(jī)廣泛應(yīng)用于物體表面的清洗、腐蝕、晶圓表面微膠的去除、等離子鍍膜、等離子灰化、活化、等離子表面處理等。等離子清洗機(jī)經(jīng)過表面處理后，可以增加材料表面的潤濕效果，使各種材料都可以涂覆。
如果您對等離子表面清洗設(shè)備有更多的疑問，歡迎咨詢我們(廣東金來科技有限公司)
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1、等離子清洗設(shè)備灰表層有機(jī)層污染物通過真空泵和瞬間高溫蒸發(fā)，晶圓等離子體去膠機(jī)被高能離子粉碎，從真空泵中排出。紫外線可以破壞污染物，等離子體每秒只能穿透幾個納米，所以污染層并不厚。指紋也工作。2、等離子清洗設(shè)備氧化去除該過程涉及使用氫或氫和氬的化合物。有時可以使用兩步法。首先將表面層氧化5min，然后用氫氬化合物去除氧化。還可以同時處理各種氣體。3、等離子清洗設(shè)備焊接一般情況下，印刷電路板焊接前應(yīng)使用化學(xué)藥劑。
