Maezono和Chang采用直流電暈和高頻放電方式成功地降低了燃燒氣中CO2濃度，怎樣降低可剝樹脂附著力CO2轉化為CO和O2；李明偉等在電暈放電條件下，實現了CO2直接分解，在放電功率40W、CO2流速30m/min時，CO2分解率15.2%；代斌等在脈沖電暈plasma等離子體氣氛下考察了純CO2轉化反應，結果表明：其裂解反應的主要產物是CO和O2(也有少量O3和C生成)，CO的選擇性在70%以上。
13.56MHz等離子體電場中的頻率振蕩較高，降低可剝涂料附著力相對于40KHz射頻等離子而言電子在轉變方向之前的運動距離更短。這意味著在每個運動周期中能夠到達器件表面的粒子數量更少，因此表面受到粒子撞擊減少，從而降低了清洗的效率和效果，直接影響產品質量和產量。40KHz射頻等離子體是最廣泛使用和通用性好的等離子體技術，它應用于半導體、微電子、醫療和通用工業的寬廣領域內。
真空泵運行時電磁真空帶充氣閥打開，怎樣降低可剝樹脂附著力真空泵關閉時閥門線圈關閉，閥門機械關閉。它的主要作用是防止油氣。防止真空泵內部被真空室內的負壓吸回。電磁真空帶式充氣閥安裝方便，但穩定性相對較差。長時間使用，閥門的磁力會降低，復位彈簧的反應會變慢。大多數現在用于實驗性真空吸塵器。 (3) 手動高真空角閥真空等離子清洗機中使用的手動高真空角閥通常為定制型，主要用于手動控制真空回路的開/關和關閉壓力等。
目前，怎樣降低可剝樹脂附著力家用等離子清洗機的技術可能還不到位。國際知名的是PLASMA TECHNOLOGY等離子清洗機。。等離子發生器的主要工作原理是通過升壓電路將低壓升到正高壓和負高壓，利用正負高壓電離空氣（主要是氧氣）。正高電壓，離子數和負離子數，負離子數大于正離子數。原理 等離子發生器同時產生的正負離子在正負電荷被中和時產生大量的能量釋放，輝光放電處理不規則的物體和組件，您將能夠可靠地處理每個表面。。
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根據不同的使用環境和數據，一般采用不同放電機理的等離子體技能。
等離子體清洗/蝕刻技術是等離子體特殊性質的具體應用；等離子體清洗/蝕刻機的裝置是將兩個電極布置在密封的容器中形成電場，用真空泵實現一定的真空度，隨著氣體越來越稀薄，分子之間的距離以及分子或離子的自由運動距離越來越長，在電場的作用下，碰撞形成等離子體，這些離子具有很高的活性，其能量足以破壞幾乎所有的化學鍵，在任何暴露的表面上引起化學反應。不同氣體的等離子體具有不同的化學性質。
例如，當帶正電的球體置于等離子體中時，等離子體中的電子被吸引而離子被排斥，在球體周圍形成帶負電的球形“電子云”。等離子在振動：通常，當等離子體處于平衡狀態時，其密度分布從宏觀上看是均勻的，但從微觀上看其密度分布會增加。存在不均勻的變化，并且這種密度變化是振蕩的。
前者稱為平衡等離子體或高溫等離子體，后者稱為非平衡等離子體或低溫等離子體。等離子體表面處理器的非平衡等離子體一般是在低氣壓下產生的，當分子間距較大時，電子在空間中被遠距離加速，動能容易達到10 ~ 20eV的高能。等離子體表面處理器加速的電子與氣體分子發生非彈性碰撞，使分子軌道斷裂，使分子被激發、解離、電離，產生大量處于基態或激發態的原子和帶電粒子。
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