較短的清洗時間可使有機污染物徹底清洗干凈，鋁表面附著力樹脂通過真空泵將污染物抽走，清洗程度達到分子水平。其次，就使用范圍而言，等離子體技術(shù)日趨成熟，而且它現(xiàn)在不僅在工業(yè)領域得到了很好的利用。它也在其他領域獲得了好處。
在各種不同環(huán)境領域和行業(yè)當中，在鋁表面附著力好的都能呈現(xiàn)出很好的使用品質(zhì)，讓清洗工作成本大大下降。。
③ Ar等離子清洗機的主動氣體輔助在等離子清洗機的啟動和清洗過程中，在鋁表面附著力好的經(jīng)常會混合使用處理過程中的氣體，以達到更好的預期效果。鑒于 Ar 的化學結(jié)構(gòu)相對較大，它通常與活性蒸氣結(jié)合使用，用于表面清潔和活化。最常見的是 Ar 和氧氣的混合物。氧氣是一種高活性氣體，能有效分解有機化學品的空氣污染源和有機化學品的表面，但其細小顆粒比較小，化學鍵斷裂。
等離子：在真空室內(nèi)產(chǎn)生的等離子完全覆蓋清洗后的工件后，鋁表面附著力樹脂開始清洗操作，清洗過程持續(xù)幾十秒到幾分鐘。大多數(shù)物理清潔過程需要高能量和低壓，因為它們依靠等離子體在電磁場中移動并撞擊待處理的表面。原子和離子在與要清潔的表面碰撞之前達到高速。為了加速等離子體，需要高能量，從而可以增加等離子體中原子和離子的速度。為了增加碰撞前原子之間的平均距離，需要降低壓力。
鋁表面附著力樹脂
除同步脈沖技術(shù)外，還有源功率脈沖、偏置功率脈沖、嵌入脈沖（embedded）和交錯脈沖（delayed）技術(shù)，均采用EED微調(diào)或用于特殊工藝。例如，當源功率為脈沖時，一般是無偏的，適用于表面材料的精細加工（去除）。當偏壓電源為脈沖時，由于源電源的連續(xù)工作，電子溫度并沒有降低，當需要降低時，往往通過提高反應室內(nèi)的壓力來實現(xiàn)，但它是各向異性的。它削弱了蝕刻能力，但高輸出底部偏壓解決了這個問題。
(3)手動高真空角閥 真空等離子清洗機所用的手動高真空角閥通常為定制型，主要用于手動控制真空氣路通斷、分斷測壓等。通常會在角閥上焊接一個KF16接頭，以便連接真空計。 這種閥門在真空等離子清洗中已經(jīng)很少被應用，主要應用于部分實驗設備及真空管道檢漏。
等離子清洗作為一種高精細的表面清洗技術(shù)，主要作用在等離子清洗、活化、蝕刻、涂覆、灰化和表面改性等等場合，在各領域都均有使用。
在IC芯片制造領域，等離子清洗機加工技術(shù)是一個不可替代的成熟工藝，無論是芯片源離子注入、晶圓鍍膜，還是我們的低溫等離子表面處理設備。成果：等離子清洗機去除晶圓表面的氧化物、有機物、掩膜去除等超細化處理和表面活化，提高晶圓表面的潤濕性。
鋁表面附著力樹脂
