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真空等離子體清洗設備的原理主要取決于等離子體中活性粒子的&ldquo；激活&rdquo；達到去除物體表面污漬的目的。
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例如，電子與電子的碰撞達到熱力學平衡，并有一個特定的氣溫，叫做電子氣溫。離子體-離子體碰撞達到熱力學平衡具有一定的氣溫Ti，稱作離子體溫度，但由于電子和離子體之間的質量差異，雖然也發生了碰撞，但未必能達到平衡，因此Te和Ti不一定一樣。 如果放電發生在接近大氣壓的高壓環境中，電子、離子和中性顆粒會通過激烈的碰撞產生交換動能，使等離子體達到熱力循環。
在線式等離子清洗機實際上是由多臺獨立的等離子清洗機組成，形成全自動運行模式，既可與流水線配套使用，又可與上下游生產工序配套。這種設備在一定程度上大大提高了工業生產中的生產率。這種設備有一個很大的優點，就是在原有等離子清洗技術的前提下，增加了裝卸料、物料傳輸等全自動操作的功能，不僅可以精細化處理，而且避免了二次污染，直接進入下一道工序，保證了處理的有效性。
一般把電子間碰撞達到熱力學平衡的溫度稱為Te，也就是電子溫度。而當等離子表面處理設備離子碰撞時，達到熱力學平衡的溫度是Ti，也就是離子溫度，實際上，Te和Ti通常是不同的。高氣壓條件接近大氣壓時放電，則電子、離子、中性粒子將因激烈碰撞而充分交換動能，使等離子體達到熱平衡狀態，電子溫度與離子溫度相近，屬低溫等離子體中的熱等離子體。
等離子清洗的應用始于 20 世紀初。隨著高新技術產業的快速發展，其應用越來越廣泛，現已在許多高新技術領域中處于重要技術地位。以及人類文明的影響，電子信息產業，尤其是半導體和光電子產業。等離子清潔劑用于有效的表面清潔、活化和微粗糙化。通過對物體表面施加等離子沖擊，可以達到對物體表面進行蝕刻、活化和清潔的目的。
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