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RF 放電等離子體濃度可以增加幾個數量級，從而導致更高的聚合速率。同時，等離子體將實驗樣品置于遠離等離子體清洗區域的位置。遠處區域的活性粒子的能量是中等的。等離子體聚合反應具有反應溫和、副反應少、可控性強等優點。 ，很容易控制聚合接枝膜的結構。。
微波等離子體系統具有RF射頻刻蝕系統無法比擬的高刻蝕速率。另一方面，直接微波等離子體工藝使電池溫度保持在很低的水平，避免熱應力。 等離子清洗機已應用范圍于各類電子元器件的制作。可以肯定的是，沒有等離子體清洗工藝，就沒有今天如此發達的電子、信息和通信行業。
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等離子刻蝕機提高了涂層的可靠性，廣東等離子除膠清洗機速率有效避免了涂層剝落和缺陷。涂裝后，表層光滑連續，無流痕。毛孔附著力明顯提高。。等離子蝕刻機如何提高硅橡膠表面的親水性？等離子刻蝕機中等離子粒子的動能通常為數至數十電子伏特，大于高分子材料的鍵能（數至10電子伏特），形成有機高分子的化學鍵然而，在比高能輻射低得多的速率下，只涉及材料的表面層，不會影響其性能。
