限制因素是：主要體現在以下幾點。 （等離子技術真空等離子清洗機） 1.這種方法不能去除物體表面的切削屑。這在清潔金屬表面上的油脂時尤其明顯。 2. 實踐表明，表面達因值測試方法使用等離子吸塵器不可能去除很厚的油漬。等離子吸塵器對物體表面的少量油漬有效，但去除較厚的油漬往往效果不佳等離子吸塵器去除浮油的時間較長，雖然清潔成本要顯著增加，但不飽和鍵在油污的分子結構中，可能是由于在與稠油污接觸的過程中發生聚合反應。

再將氣體引入反應室，不銹鋼鈍化膜表面達因值使室中的等離子體成為反應等離子體，與樣品表面反應產生揮發性副產物，由真空泵抽出。等離子體高能粒子與材料表面的物理化學反應，可以用來活化、刻蝕、去除材料表面的污染物，改善材料的摩擦系數、附著力、親水性等各種表面性能。最大的特點是它能很好地處理金屬、半導體、氧化物和大多數高分子材料，能對整體、局部和復雜結構進行清潔。

表面蝕刻在等離子體作用下，不銹鋼鈍化膜表面達因值材料表面的一些化學鍵斷裂形成小分子產物或氧化成CO、CO2等，這些產物被泵送過程抽走，使材料表面變得不平整，粗糙度增加；表面聚合當有機氟、有機硅或有機金屬作為等離子體活性氣體時，它們會在材料表面聚合產生沉積層，有利于提高材料表面的結合能力。

20MHz有物理反應，不銹鋼鈍化膜表面達因值但最重要的反應是化學反應，激活和修改數據的需要用13.56mhz或20MHz等離子體清理。腔體原料的選擇現在常見的腔體原料有以下幾種，石英腔體，不銹鋼腔體，鋁合金腔體，三種腔體各有優點，石英腔體溫度低，不易反應。1、鋁合金密度低，強度高，比優質鋼多，加工功能更好。2、鋁具有優良的導電性、導熱性和耐腐蝕性。

表面達因值測試方法

2.真空室真空腔體主要分為兩種材料：1）不銹鋼真空室。2）石英腔。3.真空泵真空泵分為兩種：1）干燥泵。2）油泵。

換句話說，腔體越大，真空的技術難度越高，因此價格也就越高。材質，以我們的小機器為例，主要有兩種，不銹鋼腔體和石英腔體。其實這兩款車型的價格相差并不是太多，這只能算是一個影響因素，并不是一個大的影響因素。

因此普通微波等離子體系統多作為一種對化學反應的催化手段應用在化工領域，或應用于一些基礎的材料處理領域，這些領域都對激發產生的等離子體密、度均勻度要求較低。而在大規模集成電路制造工藝、高質量材料表面改性處理等領域，對等離子體的密度、均勻度、穩定度都要求很高，普通微波等離子體系統或者不能勝任、或者需要靠大幅度增加系統復雜性和成本的方法才能夠滿足要求。

等離子清洗機可加裝流水線上，與其它自動化設備無縫對接，操作、監測方便。等離子清洗是一種干式清洗，依靠等離子體中活性離子的“激(活)作用”來達到去除污漬的目的。該方法能有效去除電芯極柱端面的污垢、塵埃等物質，為電池焊接作好準備，以減少不良焊接。。鋰電池中的電芯與plasma的故事由此而來 為什麼會使用鋰電池，包括平板電腦、筆記本電腦、手機、數碼相機等電子數碼產品？原來鋰電池天生麗質。

不銹鋼鈍化膜表面達因值

等離子體的形成主要是在微電子學中使用氣體原子轟擊,使氣體原子分離,形成等離子體,但氣體原子核周圍微電子系的能量,我們稱之為與能量,和外部電子能量必須大于綁扎,可以單獨的中性的氣體原子,然而，表面達因值測試方法微電子的另一部分往往能量不足，無法分離中性氣體原子，因此，必須采用外能的方法來分離原子能，使微電子具有分離中性氣體原子的用途。