外層電子從核約束中釋放出來,等離子什么意思變成自由電子,就像學生下課后跑到操場上隨意玩耍一樣,要么加熱到足夠高的溫度,要么出于其他原因……電子離開原子核。這是一個稱為“電離”的過程。這時物質就變成了由帶正電的原子核和帶負電的電子組成的均勻的“糊狀物”,使人它被戲稱為離子等離子體,之所以稱為等離子體,是因為它幾乎是電中性的,因為這些離子等離子體的正負電荷總量相等。

等離子什么意思

圖 1-2 電極附近形成的等離子體鞘 浮動襯底鞘:當等離子體插入洗車機的等離子體中時,等離子什么意思沒有電流可以通過,帶電粒子到達絕緣體表面。在表面上相互重新結合或返回等離子體區域。在等離子在子體中,電子速度快于重粒子的速度,因此在絕緣體表面積累了凈負電荷。即,表面相對于等離子體區域具有負電位。 ..表面區域的負電位排斥隨后向表面移動的電子并吸引正離子,直到絕緣體表面的負電位達到一定值,使離子和電子電流相等。

此時,等離子什么意思絕緣體的表面電位VF趨于穩定,VF與等離子體電位的差(VP-VF)保持恒定。這時,在絕緣體表面附近有一層空間電荷層,這個空間電荷層就是離子鞘層。由于等離子體中的絕緣體常被稱為浮置基板,所以絕緣體的電位常被稱為浮置電位。顯然,雜散電位為負,在雜散襯底與等離子體的界面處形成了陽離子的空間電荷層。因此,所有絕緣體,包括放置在等離子體中的反應器壁,都會形成離子鞘(見圖 1-3)。

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