等離子體放電激發產生大量的高能電子，彈性樹脂超高附著力這些高能電子與甲烷分子發生非彈性碰撞，將穩定的甲烷分子分裂為不同的活性基團，上述活性基團彼此偶合形成C2烴產物。
這通常表明在碰撞過程中粒子的總動能是守恒的，彈性樹脂超高附著力總動能是守恒的，參與碰撞的粒子的內能沒有變化，沒有新的粒子或光子出現。一旦生成，只有粒子會發生變化。發生速度、動量和動能轉換。它是與等離子清洗機的彈性碰撞相對應的非彈性碰撞。在非彈性碰撞過程中，粒子的總動量是守恒的，總動能是不守恒的，但至少有一個內能是守恒的。例如，隨著新粒子和光子的產生，粒子會發生變化。
順流及旋轉清洗模式原理順流模式及旋轉模式微波等離子清洗屬于普通的微波等離子體系統，彈性樹脂超高附著力其微波反應腔中不存在穩態磁場，此時微波能量耦合是通過彈性碰撞以及非彈性碰撞實現的。
等離子體清洗/蝕刻生產等離子設備設置在密閉容器兩個電極形成電磁場,利用真空泵達到一定程度的真空,天然氣越來越薄,分子之間的距離和自由流動的分子或離子之間的距離也越來越長,磁場效應，彈性樹脂超高附著力碰撞和等離子體的形成，輝光會同時發生。等離子體在電磁場中運動，轟擊被處理物體的表面，從而達到表面處理、清洗和蝕刻的效果。真空等離子體清洗技術的優點:1。清洗對象經等離子清洗后干燥，無需進一步干燥處理即可送入下道工序。
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本發明涉及真空泵、RF、真空計、定時器、浮子流量計、綠色電源指示燈、帶燈蜂鳴器、電源調節器、排氣按鈕（帶自鎖）、氣體旋鈕（帶自鎖）、開關島帶自鎖（帶自鎖）、帶自鎖開關等按鈕（帶自鎖）、真空泵按鈕（帶自鎖）、主電源旋鈕開關。按鈕式真空吸塵器的結構和操作方式也發現了一些缺點。由于觸點之間的布線連接，容易擊穿，可靠性低，維護困難。所有繼電器組件都是獨立的組件。
電子與物體表面的作用由于電子與物體表面的碰撞，會促使吸附在表面的氣體分子分解解吸，而電子的大量碰撞則有利于產生化學反應。因為電子質量很小，所以比離子的移動速度要快得多，在等離子體處理過程中，電子比離子早到達物體表面，使表面產生負電荷，有利于引起進一步的反應。
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