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后者除了供軸向工作氣外,還像電弧等離子體炬氣穩弧一樣,切向供入旋轉氣流以冷卻并保護放電室壁(通常用石英或耐熱性較差的材料)。  高頻等離子體炬在工業中已有多方面的應用,特別是在等離子體化工、冶金和光學材料提純等方面。它還可制備超導材料,如用氫高頻等離子體還原釩-硅(或釩-鍺),鈮-鋁(或鈮-鍺)的氯化物蒸氣以制備超導材料。

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