優點：（大氣型快速量產）2、（真空等離子清洗機）原理也是一樣的，為什么自噴漆附著力不好在真空腔體里，通過射頻電源在一定的壓力情況下起輝產生高能量的無序的等離子體，通過等離子體轟擊被清洗產品面，以達到清洗目的。優點：（真空型精密全面）。
電暈等離子處理器技術是一種新的半導體制造技術。該技術以前應用于半導體制造領域，為什么自噴漆附著力不好是必不可少的半導體制造工藝。因此，它是集成電路加工中一項長期成熟的技術。由于電暈等離子處理器產生的等離子是一種高能量、高活性的物質，它對所有有機材料都有極好的蝕刻（效果）效果。電暈等離子處理器生產的等離子產品是干法工藝，由于不會造成污染，近年來被廣泛用于半導體產品的生產中。
1、將樣品置于艙內；關閉三通閥(箭頭朝下)；緊握清潔機門，什么自噴漆附著力強接近真空室；打開真空泵的電源開關，等待幾分鐘等待抽空艙內空氣的釋放，清潔機門。2.抽氣，打開與室內空氣相通的三通閥(lever指向針形閥needlevalve)；輕輕打開針型閥，讓空氣進入清洗機艙內。(首先關閉needlevalve)。形成一個等離子體。
根據清洗材料的不同，為什么自噴漆附著力不好可分別選用氧氣、氫氣、氬氣或氮氣。（3）在真空室內電極與接地裝置之間施加高頻電壓，使氣體分解，通過輝光放電產生電離和等離子體。讓真空室內產生的等離子體完全覆蓋待處理工件，開始清洗作業。一般清洗處理持續幾十秒到幾分鐘。（4）清洗后，切斷高頻電壓，并將氣體和汽化的污物排出，同時吹入真空室，并使氣壓上升到一個大氣壓。
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由于氮氣可以降低等離子體溫度，一些射流等離子體清洗也可以使用氮氣。電暈放電需要注意的是，在等離子清洗機中還有一種產品叫電暈。事實上，電暈也是等離子清洗機的一種分類。電暈機的洗滌溫度一般較高。電暈機的洗滌溫度與射流等離子體的洗滌溫度相近。有時，不耐高溫的材料也會用氮氣清洗。其實，不必過于擔心溫度問題。目前的等離子清洗機可以很好的調節溫度，使物料清洗達到理想的效果（效果）。。
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