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2015年SiC功率半導體市場(包括二極管和晶體管)估計約為2億美元,江西銷售等離子清洗機腔體按需定制到2021年,市場規模估計將超過5.5億美元,在此期間合計年增長率是估計達到19%。毫無懸念、大量消耗二極管的功率因數校正(PFC)電源市場依然這是SiC功率半導體最重要的應用。

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一種常見的制備工藝是用硝酸和氫氟酸按特定比例對多晶硅電池表面進行起絨,在硅片表面形成一層多孔硅。多孔硅充當吸雜(中心)中心,延長光載流子的壽命并降低反射系數。然而,多孔硅結構松散且不穩定,具有較高的電阻和表面復合率。冷等離子體快速粒子與電池片表面碰撞的同時,使絨面加工更加細致有序,同時表面結構更加穩定。 ,并且復合(介質)可以減少。) 心一代。

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