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超聲等離子體的自偏置約為0V,什么樹脂在錫板上附著力最好射頻等離子體的自偏置約為250V,微波等離子體的自偏置很低,只有幾十伏特。三種等離子體的形成機理不同。超聲波等離子體的反應是物理反應,射頻等離子體的反應是物理反應和化學反應,微波等離子體的反應是化學反應。由于超聲波清洗對被清洗表面的影響最大,因此在實際的半導體生產和應用中經常采用射頻和微波清洗方法。超聲波清洗對表面除膠、毛刺等處理效果最好。
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符合要求的蝕刻均勻性是芯片成品率的保證。就等離子清洗機蝕刻的各向異性而言,它直接定義了蝕刻微結構的側壁輪廓。潛在等離子體損傷(PID)對器件的工作性能有很大影響。對于傳統的連續等離子體刻蝕,當器件尺寸減小到14nm節點以下時,實現上述刻蝕目標變得越來越困難。為了應對這些挑戰,等離子體清洗機等離子體脈沖刻蝕技術得到了發展,并逐步應用于工業。
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Ar的作用是維持正常的輝光放電,而氬離子(正離子)也不斷轟擊薄膜表面,產生級聯碰撞,濺射出油、灰塵等污物分子,清洗薄膜表面。由于氬離子轟擊從靶濺射出來的粒子稱為靶粒子,靶粒子與氬離子轟擊在膜表面可以起到“剝蝕”的作用,使膜表面“變粗”。
首先,帶培養皿的等離子清洗機一般用鹽酸溶液浸泡,使游離堿性物質得以去除,并且在使用前必須徹底清洗滅菌,防止基質表面的化學殘留物,抑制細胞生長。經過血漿溶液處理后,不僅能很好地清潔表面、殺菌消毒,還能提高基質材料的表面滲透和細胞粘附壁的能力。。
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