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2、氣動調壓閥:氣動調壓閥是氣動控制的重要器件，其作用是將外接的壓縮氣體控制在所需的工作壓力，并保其壓力和流量穩定。無論是真空等離子清洗機還是大氣等離子清洗機，在氣體輸入時都會安裝氣動調壓閥，為保證氣體的潔凈度在使用時可加裝氣體過濾組件。下圖為調壓閥與過濾組件在大氣等離子清洗機中的應用。為了方便查看氣體壓力，可在調壓閥上安裝壓力表或選用帶有壓力表的調壓閥。

等離子體清洗蝕刻生產等離子體的機器是將兩個電極設置在密封的容器中形成電磁場，用真空泵實現一定程度的真空，隨著氣體越來越稀薄，分子之間的距離以及分子或離子之間的移動距離越來越長。在磁場作用下，碰撞形成等離子體，同時會產生輝光。等離子機等離子在電磁場空間中運動，轟擊被處理物體表面，以達到表面處理、清洗和蝕刻的效果。

等離子體是各種物質存在的一種狀態，是與固體、液體、氣體等物質存在形式相同的一種狀態，有人說等離子體是物質的第四種狀態。事實上，太陽周圍和宇宙中的大多數物質都以等離子體的形式存在。在生活中，我們也常見等離子體，最常見的是火焰，火焰可以看作是可燃物質釋放能量，刺激空氣等揮發性氣體分解成等離子體狀態，是最原始和貫穿的人工等離子體。

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