五、真空等離子清洗機的特點:空氣通常用作發生氣體。 其特點是對氣體的需求非常高。工業上常用中頻作為刺激能源，紙張附著力不好原因頻率在40KHZ左右。等離子體的工作形式通常是直接噴射和旋轉的。在設備運行過程中，會產生對人體有害的氣體，如超標臭氧和氮氧化物，必須與廢氣排放系統配套運行。。等離子體應用能夠在較低的處理溫度下進行超精細清洗，因此無需對組件進行額外干燥。
通常情況下，對紙張附著力好的樹脂物質以固態、商業態和氣態三種狀態存在，但在一些特殊情況下可以以第四種狀態存在，比如太陽表面的物質、地球大氣層電離層的物質等。這類物質的狀態稱為等離子體態，也稱為勢物質的第四態。以下物質存在于等離子體中。高速運動的電子；處于活化狀態的中性原子、分子和原子團（自由基）；電離原子和分子；分子解離反應過程中產生的紫外線；未反應的分子、原子等，但物質作為一個整體保持電中性。
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等離子清洗后的材料表面無油污，對紙張附著力好的樹脂無需再加工，提高了整個工藝的加工效率。操作員可以避免有害溶劑的損壞。因此，它被完全（完全）洗滌。清潔物品不需要過多考慮形狀，也可以處理多種材料。特別適用于不耐高溫且不含溶劑的材料。因此，等離子清洗技術受到了極大的關注。等離子清洗機應用于印刷包裝、汽車制造、生物醫藥、精密電子設備等行業，包括醫療器械領域。
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在射頻等離子體器件氮化過程中，等離子體的產生與襯底偏壓的控制是分離的，因此可以分別控制離子能量和襯底表面通量。由于工作壓力較低，用氣量相應減少。NH基團是由低能直流輝光放電氮化產生的。有了這些高活性基團，整個過程需要一個外部電源來加熱工件，這類似于氣體氮化。該工藝不僅可以控制表面拓撲，還可以選擇是否形成復合層，在不改變表面結構特征的情況下控制復合層的厚度和擴散層的深度。
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