傳統(tǒng)的清洗方法，電暈處理數(shù)值如機械清洗、水清洗、溶劑清洗等不徹底，處理后的材料表面厚度會殘留在幾納米到幾十納米之間，影響器件的焊接和粘接性能。在工業(yè)生產(chǎn)中，產(chǎn)品的可靠性要求并不嚴格，在使用過程中存在一定的清洗殘留物，但隨著精度和可靠性要求的逐步提高，越來越多的微電子廠商尋求新的表面清洗方法，大氣等離子體表面處理技術(shù)可以實現(xiàn)器件表面的超凈徹底清洗，提高產(chǎn)品可靠性，提高產(chǎn)品良率，降低生產(chǎn)成本。

結(jié)果表明，電暈處理數(shù)值在0.33電容下，放電等離子體羽長度為12 mm,產(chǎn)生的頻率為10 Hz&μ；F、電阻為1m電極間隙為2毫米，接地極孔徑為1.5毫米。生物檢測表明，該裝置產(chǎn)生的血漿含有豐富的活性物質(zhì)，可用于血漿生物醫(yī)學(xué)，包括日常消毒、傷口愈合等。。微型精密電機是一種低功率減速器，其輸出功率通常為50W，電壓為24V，直徑尺寸規(guī)格在38mm以下。

這些活性粒子可以與表面材料發(fā)生反應(yīng)，電暈處理數(shù)值刺激狀態(tài)分子清潔和活化表面。等離子體產(chǎn)生的原理是：將射頻電壓（頻率約為幾十兆赫）施加到一組電極上，在交變電場的沖擊下，電極間形成高頻交變電場區(qū)域的氣體，產(chǎn)生等離子體。活性等離子體對被清洗物體表面進行物理轟擊和化學(xué)反應(yīng)，使被清洗物體表面物質(zhì)變成顆粒和氣體物質(zhì)，通過抽真空達到清洗的目的。

其中正電荷總數(shù)和負電荷總數(shù)在數(shù)值上相等，電暈處理數(shù)值因此稱為等離子體。等離子體的這一定義既強調(diào)了微觀層面上等離子體的電離性質(zhì)，又強調(diào)了宏觀層面上等離子體的電中性。作為具有一定電離度的氣體，等離子體與普通氣體的主要區(qū)別在于成分和性質(zhì)。普通氣體由電中性分子或原子組成，等離子體則是帶電粒子和中性粒子的集合體。等離子體本質(zhì)上是導(dǎo)電流體，但在宏觀尺度上保持電中性，帶電粒子之間存在庫侖力，其運動行為會受到磁場的影響或支配。

電暈處理數(shù)值

例如在38mN/m的檢測中，如果檢測筆在2秒內(nèi)潤濕了襯底表面，襯底界面張力大于選定值或剛剛好，則需要選擇更大的檢測筆進行第二次檢測，如類比，直到檢測結(jié)果在2秒內(nèi)變成水滴（球形），檢測前的數(shù)值視為襯底表面能。并用于比較分析。如果第一次測試收縮成水滴（球形），則用較小的測試筆進行第二次測試，直到表面濕潤為止。該方法可準(zhǔn)確測量界面張力和表面水分力，判斷工作前基材表面因素是否符合要求，滿足操作需要。

（2）真空泄漏試驗。在手動檢漏狀態(tài)下，開啟真空泵10min，記錄下較低的真空值，然后手動關(guān)閉真空電磁閥，同時開啟檢漏按鈕，數(shù)值為每分鐘3.2Pa/min≤6.0Pa/min，為合格。（3）咬蝕試驗:7～14mg/min合格。（4）均勻性試驗：75%以上為合格。（5）運行測試：運行24小時，無一例外。。

該機也采用旋轉(zhuǎn)噴涂方式，但配合機械擦洗，有高壓、軟噴涂等多種可調(diào)模式，適用于去離子水清洗工序，包括鋸片、晶圓減薄、晶圓拋光、研磨和CVD，尤其適用于拋光后的晶圓清洗。單晶等離子體發(fā)生器與自動清洗臺在應(yīng)用上沒有太大區(qū)別。兩者的主要區(qū)別在于清洗方式和精度要求，以45nm為關(guān)鍵分界點。自動清洗臺是多層同時清洗，設(shè)備成熟，生產(chǎn)能力高，而單晶清洗設(shè)備是逐片清洗，清洗精度高。

主要目的是驗證等離子體處理設(shè)備的均勻性，這是一個比較高的指標(biāo)。一般國產(chǎn)設(shè)備的均勻性并不理想。。常壓等離子體清洗機與真空等離子體清洗機的區(qū)別如下：1.不同的清洗方式常壓等離子體清洗機噴嘴直接注入離子，通過噴嘴的結(jié)構(gòu)間接改變離子（直接面對被處理材料）的運動方向。使大氣等離子體只能處理裝配線上的一個表面。

等離子體表面處理與電暈處理區(qū)別

微孔膜孔徑均勻，等離子體表面處理與電暈處理區(qū)別透氣但不透水，常可用作殺菌濾膜、電解隔膜、氣體透析膜、超凈濾膜等，還可與織物粘合制作登山服、透氣帳篷、雨衣等，那么等離子清洗機表面改性處理與PTFE微孔膜有什么關(guān)系呢？等離子清洗機處理的聚四氟乙烯微孔膜有什么區(qū)別？聚四氟乙烯微孔膜由于表面能低，在應(yīng)用過程中經(jīng)常面臨疏水性和粘附性的問題。如上述問題未解決，可采用等離子清洗機進行處理。