3.真空等離子體產生新官能團--化學功能如果在放電氣體中引入反應性氣體，等離子表面處理跟電暈區別活性材料表面會發生復雜的化學反應，引入新的烴基、氨基、羧基等官能團，這些官能團是活性基團，可以顯著提高材料的表面活性。二、眾所周知，真空等離子體有四種散熱方式輻射，傳導，對流，蒸發。通過傳導散熱和輻射散熱，加上對流散熱，具有反應腔、電極板、支架和附件的散熱。

此時，等離子表面處理跟電暈區別物質變成由帶正電荷的原子核和帶負電荷的電子組成的均勻“糊狀物”，因此人們稱之為離子等離子體。這些離子等離子體中的正負電荷總量相等，因此近似電中性，故稱等離子體。。等離子體技術應用領域①熱等離子體制備乙炔、硝酸、肼、炭黑。采用熱等離子體技術合成了高溫碳化物、氮化物和硼化物，如碳化鎢和氮化鈦。采用熱等離子體技術制備了0.01～1μm的氧化鋁、二氧化硅、氮化硅等超細粉體。

解吸是等離子體清洗機中等離子體與固體材料表面的界面，等離子表面處理跟電暈區別電子、離子、光子和中性粒子將能量傳遞給吸附在固體材料表面的原子或分子，使這些原子或分子克服吸附力離開固體表面，通常包括離子解吸、電子解吸、中性粒子解吸和光解吸。

（2）活性氣體和非活性氣體等離子體，等離子表面處理跟電暈區別根據產生等離子體所用氣體的化學性質不同，可分為非活性氣體等離子體和活性氣體等離子體，非活性氣體如氬(Ar)、氮氣(N2)、氟化氮(NF3)、四氟化碳(CF4)等，活性氣體如氧氣(O2)、氫氣(H2)等，不同類型氣體在清洗過程中的反應機理不同，活性氣體的等離子體化學反應活性更強，后面將結合具體應用實例介紹。。

等離子表面處理跟電暈區別

在等離子清洗機的各種改造方法中，等離子清洗機與其他方法相比有許多優點：1）等離子清洗機屬于干洗機，省略了濕化學處理過程中不可缺少的干燥和廢水處理工序，例如，與其他干溶液、電子束溶液等溶液相比，等離子清洗機的獨特地位在于，它對材料的作用只發生在其表面幾萬到幾千埃厚的范圍內，可以改變材料的表面性質，而不改變材料的體積特性。

隨著蒸氣變薄，分子或離子之間的自由移動距離變長。它們在電場作用下碰撞形成等離子體。它們具有高度的活性和能量，能在暴露的表面打破幾乎所有的化學鍵并產生化學反應。不同蒸氣的等離子體具有不同的化學性質。例如，氧等離子體具有很高的氧化性能，可以氧化光刻膠產生蒸氣，從而達到清洗效果。腐蝕蒸汽等離子體具有良好的各向異性，能夠滿足腐蝕的需要。在等離子清洗機的過程中，稱為輝光放電處理。

能量被聚合物吸收后，產生化學性質非常活潑的自由基，容易與等離子體中的氣體發生反應，產生揮發性氣體。快離子與中性粒子碰撞產生的中性自由基在等離子體脫膠機中不斷轟擊樣品表面，中性粒子之間進行電荷交換和能量傳遞，在等離子體脫膠機中進行。運動動能和振動動能以溫和的方式加熱表面，解離和激發產生的自由基以平移或振動的方式傳遞熱量。如果能量超過閾值，可以用自由基團簇引起濺射。

處于等離子體狀態的物質有以下幾種：高速運動的電子；處于活化狀態的中性原子、分子和原子團（自由基）；電離原子和分子；未反應的分子、原子等，但物質作為一個整體保持電中性。

等離子表面處理跟電暈區別

目前建鼎、華通、百成等PCB廠HDI產能全部被客戶預訂，等離子表面處理跟電暈區別高產能利用率將持續到明年2月春節前，而頻率組件廠晶科技產能同樣吃緊，四季度單月出貨額將維持在10億元以上的歷史高端水平。PCB產業規模持續擴大。近年來，5G的快速發展使得PCB行業增長空間不斷加大。隨著以電子信息產業為主導的制造業向亞太地區轉移，全球PCB制造中心在亞太地區快速成長，我國PCB產值顯著提升，我國PCB產業地位持續加強。

在陽極附近有幾毫米厚的陽極電位降區，等離子表面處理跟電暈區別其電位差基本等于氣體電離電位差。3.電弧放電面積：當電流超過10-1安培且氣壓較高時，正柱區產生的焦耳熱大于顆粒擴散區向壁面的散熱，使正柱區中心溫度升高，氣體電導率增大，使電流集中在正柱區中心，形成不穩定收縮。導電正柱會收縮成溫度更高、電流密度更大的電弧，即電弧放電。