在 GST 蝕刻完成并去除光刻膠后,湖南直銷等離子清洗機腔體優質服務添加一小步含氟氣體作為蝕刻劑(在蝕刻配方(CF4、SF6、NF3等)中,使用含氟氣體可以激活GST蝕刻副產物的特性,大大提高濕法清洗的效果。。等離子清洗機的真空室是保持真空泵內部狀態的容器,真正的內室質量是等離子清洗機質量特性的條件之一。無論是涂層產品還是表面產品,都必須在型腔內進行一系列操作。型腔設計必須考慮體積、使用的原材料和使用的形狀,具體取決于不同的設備。
為了保證放電的穩定性,湖南直銷等離子清洗機腔體廠家現貨兩個電極之間的距離被限制在幾毫米之內,并且需要一個正弦或脈沖的高壓電源來實現大氣放電。取決于放電氣氛、激發電壓和頻率,在兩個電極之間會產生絲狀或發光的等離子體。單絲放電由電介質表面的微放電或放電條組成。輝光等離子體的產生需要氮氣和氦氣等惰性氣體的參與,因為它們可以產生具有高活性和彭寧效應的亞穩態粒子。
當等離子體與待處理表面接觸時,湖南直銷等離子清洗機腔體廠家現貨會發生化學和物理變化,清潔表面并去除油脂和輔助添加劑等碳氫化合物污染物。表面的分子鏈結構隨材料的組成而變化。自由基如氧自由基和羥基自由基的建立是為了促進各種涂層材料的附著力,并針對附著力和涂層應用進行了優化。在同樣的效果下,等離子表面處理機可以得到高強度、非常薄的涂層表面,而無需其他強力成分,如機械和化學處理來增強附著力。
等離子體與晶片表面的二氧化硅層表面相互作用后,湖南直銷等離子清洗機腔體廠家現貨活性原子和高能電子破壞了原有的硅氧鍵結構,使其成為非橋鍵。(C) 然后,為了將電子與活性原子的結合能向更高能量方向轉移,表面有許多懸空鍵,而這些懸空鍵以鍵合OH基的形式存在。結構穩定。在有機或無機堿中浸泡并在特定溫度下退火后,表面的Si-OH鍵脫水并聚合形成硅-氧鍵。這提高了晶片表面的親水性并進一步促進了它。晶圓鍵合。
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