硅-硅直接鍵合工藝的氧等離子體活化機理研究：硅-硅直接鍵合技術(shù)（SILICON DIRECT BONDING，陶瓷表面改性原因分析方法SDB）作為一種封裝和制造技術(shù)在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域發(fā)揮著越來越重要的作用。 SDB 鍵合允許拋光的半導(dǎo)體晶片在不使用粘合劑的情況下相互鍵合。。解決電鍍多層陶瓷殼的起泡鎳問題，需要從前道工序入手，同時控制前處理工序和鍍鎳工序。

等離子設(shè)備清潔手機配件外殼:等離子設(shè)備不僅可以將塑料、金屬、玻璃、陶瓷等材料有(機)在手機外殼表面，陶瓷表面改性方法還可以大大(活)在外殼表面的材料，提高印刷、涂層、粘接等果品(TWC)，手機天線:手機天線的粘接是在兩種或多種不同材料之間實現(xiàn)的，通常是在基板表面應(yīng)用FPC固化。如果基材表面有污垢或表面活性低，則粘接的可靠性無法保證，會出現(xiàn)分層或開裂現(xiàn)象。

例如：用氧氣等離子體可以使有機物沉積被氧化掉；用惰性的氬氣等離子體可以使顆粒污染被機械地沖洗掉；用氫氣等離子體可以消除金屬表面氧化等等。應(yīng)用等離子清洗技術(shù)清洗金屬、陶瓷和塑料表面的有機物，陶瓷表面改性方法大大增強了這些材料表面的附著力和鍵合力。隨著對這門技術(shù)的研究的不斷深人，其應(yīng)用已越來越廣泛。

對于許多產(chǎn)品來說，陶瓷表面改性方法無論是工業(yè)、電子、航空、醫(yī)療保健等，可靠性都取決于兩個表面的強度。常壓等離子體表面處理器有可能改變粘合劑，提高最終產(chǎn)品的質(zhì)量，無論表面層是金屬、陶瓷、聚合物、塑料還是它們的組合。改變?nèi)魏伪砻鎸拥牡入x子體功能都是安全、環(huán)保、經(jīng)濟的。對于許多行業(yè)來說，這是一個可行的解決方案。

陶瓷表面改性原因分析方法

在電子、航空、健康等行業(yè)，可靠性取決于兩個表面之間的粘結(jié)強度。無論是金屬、陶瓷、聚合物、塑料還是其中的復(fù)合物，等離子處理器都有可能增強粘結(jié)力，增強產(chǎn)品的質(zhì)量。等離子處理設(shè)備改變表面的能力都是(安)全、環(huán)保、經(jīng)濟的。這是很多行業(yè)面臨的挑戰(zhàn)問題的可行解決辦法。等離子處理器的七大特性:1.等離子體作用過程為氣-固相干反應(yīng)，不消耗水資源，不添加化學(xué)藥劑，對環(huán)境無污染。

它可以應(yīng)用于市場上多種材料的加工，包括塑料、印刷紙、夾層玻璃、金屬材料、陶瓷、紡織品和高分子材料。常壓等離子設(shè)備由等離子發(fā)生器、管道、等離子噴射器等組成，并引進了在線加工的工業(yè)化生產(chǎn)系統(tǒng)。高效環(huán)保的制造加工是通過將不相容的材料相互粘合，提高材料表層的性能以達到優(yōu)異的粘合效果，或消除原材料表層的靜電感應(yīng)來完成工藝。

一些工藝使用化學(xué)品來處理這些橡膠表面并改變材料的粘合性（效果），但這種方法并不容易學(xué)習(xí)。化學(xué)品本身具有腐蝕性，過程非常復(fù)雜且成本高昂。化學(xué)品也會影響橡膠材料固有的優(yōu)越性能。這些材料使用等離子技術(shù)進行表面處理。高速、高能等離子體的沖擊改變了這些材料的結(jié)構(gòu)表面，同時在材料表面形成了活性層，實現(xiàn)了橡膠和塑料的印刷和粘合。 , 并有涂層。由于橡膠表面采用等離子清洗裝置處理，工藝簡單，處理前后對比效果顯著。

為了使聚合物材料適合于各種應(yīng)用，一般有兩種方法。一是利用各種表面改性技術(shù)產(chǎn)生新的表面活性層，從而改變表面和界面的基本特性。另一種方法是通過功能膜或表面層形成技術(shù)在原始表面上涂膜。這兩種方法的目的都是使材料具有幾種表面特性或兩者兼有。因此，各種表面處理技術(shù)應(yīng)運而生。如化學(xué)濕法處理、使用電子束或紫外線干法處理、使用表面活性劑添加劑和使用真空蒸發(fā)金屬化等。

陶瓷表面改性方法

經(jīng)過多種嘗試和工藝優(yōu)化，陶瓷表面改性原因分析方法實現(xiàn)了8nm、12nm、22nm等不同寬度的石墨烯納米級線，并制備成器件，盡管電性并不好，電流開關(guān)比只有102，閾值電壓、飽和電流都無法滿足芯片級的要求，但提到的加工方法及蝕刻的研究細節(jié)還是很值得研究的。尤其在蝕刻中用氧的等離子體進行蝕刻，形成120nm的石墨烯線，而后再用氫的等離子體進行蝕刻，形成更細的線。

本實用新型采用激發(fā)式真空等離子清洗機作為清洗設(shè)備，陶瓷表面改性方法能合理地防止被清洗物對二次污染。本機裝置配有真空泵，在保持真空設(shè)備內(nèi)腔真空的條件下，能夠快速、徹底地清除真空等離子體中反應(yīng)的污染物，能夠在短時間內(nèi)迅速、徹底地去除污染物。 所以，我們把這2種處理方法結(jié)合起來。在光解設(shè)備的前部安裝了真空等離子清洗機，真空等離子清洗機產(chǎn)生的03與有機廢氣混合，通過紫外線燈管流動。