芯片互連引起的失效主要表現為引線虛焊、分層、壓焊過重導致的引線變形及損傷、焊點間距過小而易于短路等, 這些失效形式都與材料表面的污染物有關, 主要包括微顆粒、氧化薄層及有(機)殘留等污染物。在線式等離子清洗技術為人們提供了一條環保有效的解決途徑, 已變成高自動化的封裝工藝過程中不可缺少的關鍵設備和工藝。

芯片表面改性

微波半導體器件在燒結前采用等離子體清洗管座,微流控芯片表面改性技術對保證燒結質量十分有效。引線框架的清洗引線框架在當今的塑封中仍占有相當大的市場份額,其主要采用導熱性、導電性、加工性能良好的銅合金材料制作引線框架。但銅的氧化物及其他一些污染物會造成模塑料與銅引線框架分層,并影響芯片粘接和引線鍵合質量,確保引線框架清潔是保證封裝可靠性的關鍵。

等離子體表面處理儀的用途:1、醫用材料研究,芯片表面改性處理主要為研究和開發企業或研究所;2、電子領域,應用較為廣泛,如電路板等;3、生物芯片領域;4、高端和精密研究的清洗、除污;5、電化學單位,進行表面處理的單位。電暈處理是一種電擊處理,它使承印物的表面具有更高的附著性。

* 光學鏡頭、電子顯微鏡鏡頭、其他鏡頭和載玻片的清潔。 * 去除光學元件、半導體元件等表面的光刻膠。 * 清潔 ATR 元素、各種形狀的人造水晶、天然水晶和寶石。 * 半導體元件和印刷電路板的清洗。 * 清潔生物芯片和微流控芯片。 * 清潔貼有凝膠的電路板。 * 聚合物表面改性。 * 牙科材料、人工植入物和醫療器械的殺菌消毒。

芯片表面改性

芯片表面改性

等離子體處理將會改變玻璃和PDMS芯片表面的化學物質并允許您把帶有微通道的PDMS粘接到其他基底上(PDMS或玻璃)。微流控PDMS芯片的等離子體處理的方法,不同的處理參數會影響到PDMS芯片的鍵合強度。良好的鍵合牢固的芯片的耐壓強度可以達到3-5 bars的耐壓值。PDMS鍵合的主要關鍵點:材料表面的污染,等離子體清洗機腔室的污染,等離子體的穩定性與均勻性,等離子體刻蝕的深度以及熱烘烤工藝。

如今,等離子清潔器廣泛應用于光學、光電子學、電子學、材料科學、聚合物、生物醫學、微流體等領域。國產等離子清洗機系列是結合國外先進技術、價格高、促銷難度大等特點,結合國內用戶需求,采用先進技術開發的等離子清洗機新系列。一般來說,國產等離子清洗機能夠滿足部分工件的加工標準。如果標準很高,比如設備工件本身很貴,或者設備工件本身質量標準很嚴格,可以選擇進口等離子設備的配置。

通過等離子清洗機,可以顯著提高粘接強度和粘接力的一致性,從而使粘接工藝獲得更好的質量和良率。。等離子體清洗機的化學反應在微流控生物芯片加工中的應用:芯片到芯片的粘接,芯片到玻璃的粘接等。

(4)引線框等離子清洗:經等離子處理后,引線框表面可超凈化活化,提高芯片的鍵合質量。等離子清洗后,引線框架的水滴角會顯著減小,可有效去除表面污染物和顆粒,這將有助于增加引線連接的抗壓強度,減少封裝形式中的分層現象;對提高芯片本身的質量和使用壽命,提高封裝產品的可靠性具有一定的參考價值。。等離子清洗在汽車內門板加工中的應用在汽車門板制造過程中,門板表面的顆粒污染物會降低產品質量。

芯片表面改性

芯片表面改性

等離子體表面處理技術在半導體器件中應用較早,微流控芯片表面改性技術是一種不可缺少的半導體器件處理技術。因此,在IC芯片的生產加工中是一個持續而成熟的工藝過程。充分考慮等離子體是一種高能,高活性物質,任何有機材料蝕刻效果非常好,表面等離子體的優點進行干燥處理,不會產生環境污染,所以近年來很多用于PCB電路板印制電路板制造業。