主要電氣控制部分包括:真空泵、射頻功率、真空計,計時器,流量計,綠色電源指示燈,蜂鳴器,功率調節器,空按鈕(自鎖),一個按鈕(自鎖)氣體,氣體的第二個按鈕(自鎖),高頻電源按鈕(自鎖)、真空泵按鈕(自鎖),總功率旋鈕開關。。等離子體發生器可以使操作人員遠離對人體有害的溶劑:真空泵低溫等離子體發生器的設備絕大多數都是真空泵吸干、泵腔抽吸。一些應用程序是獨立的，玻璃附著力不好的表現是其他應用程序是合并的。
不管是真空等離子清洗設備還是常壓設備輸入氣體時需要安裝氣壓調節閥，玻璃附著力不好的表現是以保證汽體在應用中的潔凈度。為了有利于觀查空氣壓力，要在壓力調節閥上安裝氣壓表或帶氣壓表的壓力調節閥。假如要出示欠壓保護警報，也可以挑選具備警報作用的氣壓表或加上壓力控制器。管路節流閥一般用在常壓等離子清洗設備，它能夠用于調節通氣風口尺寸，以完成壓力和流量監控。使用大多數是迅速快插接頭，體積較小。
控制單元主要電氣部分有真空泵、射頻電源、真空計、定時器、浮子流量計、綠色電源指示燈、帶燈蜂鳴器、功率調節器、排氣按鈕（帶自鎖）、氣體按鈕（帶自鎖） ). 是。 -Lock）、燃氣2按鈕（帶自鎖）、高頻電源按鈕（帶自鎖）、真空泵按鈕（帶自鎖）、總功率旋鈕開關。按鈕（帶自鎖）、真空泵按鈕（帶自鎖）、主電源旋鈕開關。按鈕式真空等離子清洗機的配置和操作模式也決定了一些缺點。
后邊的發現是通過多種形式，玻璃附著力怎么調節如電弧放電、輝光放電、激光、火焰或者沖擊波等，都能夠使處于低氣壓狀況的氣體物質轉變成等離子體狀況。 如在高頻電場中處于低氣壓狀況的氧氣、氮氣、甲烷、水蒸氣等氣體分子在輝光放電的情況下，能夠分解出加速運動的原子和分子，這樣產生的電子和解離成點有正、負電荷的原子和分子。
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3. 氣體所產生的自由基和離子活性很高，其能量足以破壞幾乎所有的化學鍵，在任何暴露的表面引起化學反應。等離子體中粒子的能量一般約為幾個至幾十電子伏特，大于聚合物材料的結合鍵能（幾個至十幾電子伏特）， 完全可以破裂有機大分子的化學鍵而形成新鍵；但遠低于高能放射性射線，只涉及材料表面不影響基體的性能。 等離子體可以通過DC或高頻AC電場產生。
等離子體是物質的狀態，也稱為物質的第四狀態。當向氣體施加足夠的能量以使其電離時，它就會變成等離子體狀態。等離子體活性成分包括離子、電子、活性基團、激發核素（亞穩態）、光子等。等離子清潔劑利用這些活性成分的特性對樣品表面進行處理，以達到清潔等目的。等離子體與固體、液體和氣體一樣，是物質的狀態，也稱為物質的第四態。當向氣體施加足夠的能量以使其電離時，它就會變成等離子體狀態。
但工頻過高或電極間隙過寬，會造成電極間離子碰撞過多，造成不必要的能量損失；但如果電極間距過小，會有感應損耗和能量損耗。
氧氣等離子清洗機和嚴格的工藝衛生制造瓷殼的過程需要嚴格控制過程衛生，不得直接用手觸摸產品，即使您必須隨時隨地佩戴指套。在釬焊外殼之前，必須用氧等離子清洗機清潔石墨舟和石墨部件的組裝和定位。當使用石墨球進行定位和組裝時，大量的石墨顆粒會泄漏（殘留）在船體表面。
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由于是在真空中進行，玻璃附著力怎么調節不污染環境，保證清潔表面不受二次污染。等離子體清洗機的清洗分類:2.1反應類型的分類大氣等離子體與固體表面的反應可分為物理反應(離子轟擊)和化學反應。物理反應機理是活性粒子轟擊被清理表面，使污染物從表面被清除，最后被真空泵吸走。化學反應的機理是各種活性顆粒與污染物反應形成揮發性物質，再由真空泵除去。
