二、、工件的大小一般來說真空等離子清洗機的分類的話主要是按照腔體尺寸和腔體材質來分的,附著力不好的樹脂選擇腔體尺寸時第一個要考慮的就是工件大小,要保證工件能夠放入腔體內(nèi)。三、產(chǎn)能任何產(chǎn)品如果有產(chǎn)能要求的話,肯定是需要根據(jù)產(chǎn)能來選腔體大小,腔體越大也就意味著一次能處理的產(chǎn)品也就更多,如果對產(chǎn)能沒有太多要求的話,優(yōu)先考慮工件大小。在工件能夠放下的前提下,我們在根據(jù)產(chǎn)能計算得出合適的腔體尺寸。
當氣體的溫度升高時,附著力不好的樹脂此氣體分子會分離成為原子,若溫度繼續(xù)上升,圍繞在原子核周圍的電子就會脫離原子成離子(正電荷)與電子(負電荷),此現(xiàn)象稱為“電離”。因電離現(xiàn)象而帶有電荷離子的氣體便稱為“等離子(PLASMA)”。因此通常將等離子歸類為自然界中的“固體”、“液體”、“氣體”等物態(tài)以外的“第四態(tài)”。
等離子清洗機原理是利用等離子體的特點,使用大量的離子、激發(fā)態(tài)分子、自由基等活性粒子,固體樣品表面效果,不僅清晰(除了)表面污染物和雜質,并產(chǎn)生蝕刻效果,樣品表面是粗糙的,形成許多細微的凹坑,附著力不好的樹脂增加了樣品的比表面。提高固體表面的潤濕性。
小規(guī)模的實驗型低壓等離子處理設備多采用按鍵式控制;控制的主要電器部件有:真空泵、RF電源、帶燈蜂鳴器、真空計、計時器、浮子流量計、功率調節(jié)器、綠色電源指示燈、自鎖放空按鈕、自鎖氣體一按鈕、帶自鎖的氣體二按鈕、帶自鎖的高頻電源按鈕、帶自鎖的真空泵自鎖按鈕和總電源旋鈕開關。
附著力不好的樹脂
等離子體表面處理器;多晶硅柵刻蝕;當CMOS工藝擴展到65nm及以下時,等離子體表面處理器柵的刻蝕制作面臨諸多挑戰(zhàn)。作為控制溝道長度的關鍵技術,多晶硅柵的圖形與器件性能密切相關。摩爾定律將黃光圖案技術從248nm波長光源技術推向193nm波長光源技術。這一轉變在2012年成功實現(xiàn)了30nm的圖形分辨率。但193nm光刻膠的化學成分與248nm光刻膠相差較大,在惡劣等離子體環(huán)境下耐蝕性較差。
噴塑第二遍附著力不好怎么辦