通常使用的真空泵是旋轉(zhuǎn)油泵，山東大氣等離子清洗機(jī)代理高頻電源通常用13.56M赫茲的無線電波，設(shè)備的運(yùn)行過程如下： （1）被清洗的工件送入真空室并加以固定，啟動(dòng)運(yùn)行裝置，開始排氣，使真空室內(nèi)的真空程度達(dá)到10Pa左右的標(biāo)準(zhǔn)真空度。一般排氣時(shí)間大約需要2min。 （2）向真空室引入等離子清洗用的氣體，并使其壓力保持在 Pa。 根據(jù)清洗材質(zhì)的不同，可分別選用氧氣、氫氣、氬氣或氮?dú)獾葰怏w。
同時(shí)，山東大氣等離子清洗機(jī)代理負(fù)載 La2O3 提高了 CO2 轉(zhuǎn)化率，但降低了 CO 產(chǎn)率。當(dāng) La2O3 負(fù)載量在 2% 到 12% 范圍內(nèi)變化時(shí)，CH4 轉(zhuǎn)化率和 C2 烴產(chǎn)率在峰形上略有變化，但在 CO2 的情況下。轉(zhuǎn)化率和 CO 產(chǎn)率影響不大。當(dāng) La2O3 負(fù)載量達(dá)到 12% 時(shí)，催化活性略有下降，而當(dāng)負(fù)載量從 0.01% 增加到 1% 時(shí)，Pd 對(duì) CH4 和 CO2 的轉(zhuǎn)化具有根本性的影響。
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