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以這種方式產(chǎn)生的電子在被電場(chǎng)加速并與周圍的分子和原子碰撞時(shí)獲得高能量。結(jié)果，電子從分子和原子中被激發(fā)成激發(fā)態(tài)或離子態(tài)。這一次，物質(zhì)的存在狀態(tài)是等離子體狀態(tài)。等離子體中除了氣體分子、離子和電子外，還有能量激發(fā)的電中性原子或原子團(tuán)（也稱為自由基），以及等離子體發(fā)出的光。它在能量等離子體與物質(zhì)表面的相互作用中起重要作用。。
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